MSA
Interfereren-
de stof
Germanium
Hexaan
Waterstof
Waterstof-
chloride
Cyaanwater-
stof
Fluorwater-
stofzuur
Zwavelwater-
stof
MEK
Mercaptaan
[methyl]
Methaan
Stikstofmo-
noxide
Stikstofdioxi-
de
Fosfine
Silaan
Zwaveldioxi-
de
Trichloor-
ethyleen
NL
Concen-
CO ge-
tratie
filterd
[ppm]
1
0
500
0
500
200
50
0
10
0
10
0
10
1
200
0
5
0
5000
0
100
0
5
-1
0.5
Geen
data
5
0
10
0
1000
0
ULTIMA X
Bijlage: Instrumentspecificaties
H
S
Cl
2
2
0
0
0
0
0.5
0
0
0
0
0
0
0
10
-0.1
0
0
4.5
-0.1
0
0
2
0
-4
0.5
0
0
0
0
0.3
0
0
0
®
- serie
SO
ge-
2
NO
filterd
0
0
0
Geen
data
15
Geen
data
0
4
0
0
0
Geen
data
0
1
0
0
0
1
0
0
2
100
-5
1.5
Geen
0
data
0
0
10
0.5
0
0
NO
2
Geen
data
0
-10
0
0
Geen
data
-8
0
Geen
data
0
Geen
data
5
Geen
data
Geen
data
Geen
data
Geen
data
89