9.4
Onderhoudsschema
Component
Onderhoudswerkzaamheden
Vacuümsysteem
Voorpomp D16 B
Oliepeil controleren, evt verversen
Olie verversen
Voorpomp reviseren
Scrollpomp IWATA
Scrollkop vervangen
ISP 500
Scrollpomp Varian
Tip-seal vervangen
TS 620
Scrollkop vervangen
TMH 071
Smeermiddelopslag vervangen
Lagerwissel
Ventielblok
Ventielen reinigen, ventielaf-
dichtingen vervangen
Ventielblok demonteren en reinigen
Filter water-spoelgasleiding verni-
euwen
Pirani afstellen
Geluidsdemper
vervangen
UL1000 Fab
Uitlaatfilter UL1000
controleren, leegmaken
Filterelement vervangen
Elektrotechniek
Ventilatorcompo-
Ventilator chassis-wand-bodem
nenten
uitblazen
Reservefiltercel voor ventilator
chassiswand vervangen
9.5
Onderhoudsgroepen
UL1000 / UL1000 Fab
Het onderhoudsschema voor de UL1000 und UL1000 Fab kan voor een beter
overzicht ingedeeld worden in vier onderhoudsgroepen.
•
1500 uur-onderhoud
•
4000 uur-onderhoud, minstens 1 keer per jaar
•
8000 uur-onderhoud
•
16000 uur-onderhoud
Bedrijfsuren/jaren
1500
4000
8000
16000
1/4
1
2
X
2
X
X
X
1
X
2
2
X
2
1
X
1
X
X
1
X
X
1
1
X
1
1
X
1
Onderhoudswerkzaamheden
Service-
Reserve-
niveau
onderdeel nr.
I en II
II
20028181
X
III
III
200000021R
III
200001671
X
III
200001665R
II en III
200000577
X
III
2
III
200000594
X
III
200000593
I, II ,III
200000683
III
I, II ,III
20099183
I, II ,III
I, II ,III
200000694
I
I
200000685
99