Pagina 1 T E C H N I S C H H A N D B O E K iina70nl1-k (1107) Catalogus-nr. UL1000: 550 - 000A 550 - 001A 550 - 002A UL1000 Fab: 550 - 100A 550 - 101A vanaf software versie V4.4 UL1000 Fab en UL1000 Helium-lekdetector...
Pagina 3: Inhoudsopgave
Aansluitingen voor toebehoren en besturingssignalen 2.3.2.1 Toebehoren (accessories) 2.3.2.2 Digitale uitgang (digital out) 2.3.2.3 Digitale ingang (digital in) 2.3.2.4 Schrijver (recorder) 2.3.2.5 RS232 2.3.2.6 Afstandsbediening / Radiotransmitter Vacuümaansluitingen 2.4.1 Inlaat 2.4.2 Uitlaat 2.4.3 Beluchtingsaansluiting 2.4.4 Spoelgasaansluiting (UL1000 Fab) / Gasballast aansluiting (UL1000) Leverstatus Inhoudsopgave...
Pagina 4 Controle voor inbedrijfstelling Benodigde onderdelen Eerste inbedrijfstelling 3.2.1 Opstarten en meten 3.2.2 Interne kalibratie 3.2.3 Controle Beschrijving en werkwijze Inleiding Opbouw van de UL1000 und UL1000 Fab 4.2.1 Vacuümsysteem 4.2.2 Bedieningspaneel 4.2.2.1 LCD scherm 4.2.2.2 START toets 4.2.2.3 STOP toets 4.2.2.4...
Pagina 5 Lokaliseren 6.4.6.2 Uitstroomsnelheid proportioneel 6.4.6.3 Gewenste waarde 6.4.6.4 Triggeralarm Kalibratie Instellingen 6.6.1 Vacuüminstellingen 6.6.1.1 Automatisch spoelen (alleen UL1000 Fab) 6.6.1.2 Vertraging van de beluchting 6.6.1.3 Vacuümbereiken 6.6.1.4 Leksnellheid intern testlek 6.6.1.5 Machinefactor 6.6.1.6 Instellingen Auto Leak Test 6.6.2 Zero & achtergrond 6.6.2.1...
Pagina 6 7.2.1.2 Handmatige interne kalibratie 7.2.2 Externe kalibratie Kalibratiefactor-waardebereik Foutmeldingen en waarschuwingen Instructies Lijst van foutmeldingen en waarschuwingen Onderhoudswerkzaamheden Algemene instructies Onderhoud of service bij INFICON Legende voor het onderhoudsschema Onderhoudsschema Onderhoudsgroepen 9.5.1 1500 uur-onderhoud 9.5.2 4000 uur-onderhoud 9.5.3 8000 uur-onderhoud 9.5.4...
Pagina 7: Algemeen
Instructie: Wij raden u aan dit handboek zorgvuldig te lezen om zo vanaf het begin optimale arbeidsomstandigheden te garanderen. Dit technisch handboek bevat belangrijke informatie over de functie, installatie, inbedrijfstelling en bediening van de UL1000 und UL1000 Fab. Algemeen Wij behouden ons het recht voor tot wijziging van de constructie en de bijbehorende gegevens.
Pagina 8: Instructies
Het versterkingsbereik van de voorversterker en de vacuümbereiken worden automatisch geselecteerd. De automatische selectie van het meetbereik van de UL1000 of de UL1000 Fab bestrijkt het gehele bereik of het totale lekbereik afhankelijk van de geselecteerde bedrijfsmodus: Vacuümmodus of snuffelmodus. Niet alleen het leksignaal, maar ook de druk in het testitem (inlaatdruk PE) en de voorvacuümdruk (PV) worden voor de...
Pagina 9 Met deze functie wordt het interne nulpunt van het apparaat bepaald, dat dan van het actueel gemeten leksignaal afgetrokken wordt. Deze functie wordt geactiveerd met een druk op de Start-toets indien de UL1000 of UL1000 Fab minstens 20 seconden in de bedrijfsmodus "Standby" of "Beluchten" actief is. Indien later de voorheen onderdrukte heliumachtergrond verder daalt, zodat alleen de detectiegrens weerge- geven wordt, dan wordt het nulpunt automatisch aangepast.
Pagina 10: Ondersteuning Door Inficon Service
Indien het besmet is, dient u ook het soort gevaar aan te geven. Apparaten zonder verklaring inzake besmetting moet INFICON terugsturen aan de afzender. Voor een kopie van het formulier ter verkla- ring inzake besmetting zie Fig. 1-1.
Pagina 11: Servicecentra
1.2.1 Servicecentra Indien u dringend ondersteuning nodig heeft, kunt u contact opnemen met de INFICON service in uw land of de service-hotline in Keulen, Duitsland: Egypte MP@agramkow.dk India asdash@hotmail.com A’Gramkow Tel.: +45 741 236 36 Dashpute Tel.: +91 22 888 0324...
Pagina 12 Fax: +45 744 336 46 Keulen Fax: +49 221 567889112 Polen kamola@vakpol.com Taiwan reach.taiwan@inficon.com VAK-POL & GAZ Sp. z Tel.: +48 602 315 212 INFICON Company Limited Tel.: +886.3.5525.828 Pulawy Fax: +48 602 315 212 Chupei City, HsinChu Hsien Fax: +886.3.5525.829 Portugal ana.correia@zickermann.pt Tsjechië...
Pagina 13: Inleiding
• Bij de vacuümlekdetectormethode wordt het testitem eerst geëvacueerd en vervolgens van buitenaf met helium bespoten. Daarvoor is het nodig dat tussen de UL1000 en UL1000 Fab en het testitem een vacuümverbinding tot stand wordt gebracht • bij de snuffellekdetectormethode wordt in het testitem een helium-overdruk tot stand gebracht en het testitem wordt van buitenaf gecontroleerd met een snuffelsonde die met de inlaat van de lekdetector verbonden is.
Pagina 14 Indien het apparaat met gevaarlijke gassen in aanra- king is gekomen, dient u de decontaminatieverklaring in te vullen en deze samen met het apparaat naar INFICON te sturen. Indien onderdelen van het apparaat gereinigd dienen te worden, moet u contact opnemen met de producent. Stuur vooraf een ingevulde kopie van de contaminatieverklaring.
Pagina 15: Technische Gegevens
Opstarttijd (na het inschakelen) Instructie: Om de bereiken met de minimaal detecteerbare uitstroomsnelheden te bereiken, dienen eerst enkele voorwaarden vervuld te worden: • De UL1000 en UL1000 Fab dient warmgedraaid te zijn. • De omgevingsfactoren dienen stabiel te zijn (temperatuur, geen vibraties/stoten). •...
Pagina 16: Overige Technische Gegevens
Max. toegestane hoogte boven zeeniveau 2000 m (in bedrijf) Uitpakken Pak de UL1000 en UL1000 Fab direct na ontvangst uit, zelfs indien het apparaat pas later geïnstalleerd zal worden. Controleer de verpakking op eventuele externe beschadigingen. Verwijder al het verpakkingsmateriaal.
Pagina 17: Levering Omvat
• Slanghouder (2 + 2) (Zie nr. 5) • Documentatiemap – Technisch handboek en lijst met reserveonderdelen UL1000 en UL1000 Fab – Lijst met reserveonderdelen UL1000 en UL1000 Fab • Kram voor opwikkelaar netwerkkabel (met schroeven) (Zie nr. 6) •...
Pagina 18: Toebehoren En Opties
1.4.2.4 Anti-statische mat Deze mat wordt op de werkvloer van de UL1000 und UL1000 Fab geplaatst en over de ring van de inlaatflens bevestigd en geaard. De mat voorkomt dat er elektrische lading optreedt tussen de werkvloer en gevoelige testitems.
Pagina 19: Afstandsbediening Rc1000
1.4.2.5 Afstandsbediening RC1000 Met de afstandsbediening kunt u de UL1000 und UL1000 Fab vanaf een afstand van max. 100 m bedienen. Met de afstandsbediening kunt u de functies START, STOP/ VENT (STOP/beluchten), ZERO (nulpunt) en het volume en de weergave van de uitstroomsnelheid met de balkweergave besturen.
Pagina 20: Installatie
Installatie Transport Voorzichtig De UL1000 und UL1000 Fab is niet uitgerust met kraanogen en mag daarom niet met behulp van hijswerktuigen getransporteerd worden. Waarschuwing De UL1000 und UL1000 Fab mag alleen met het daarvoor bestemde handvat verschoven of getrokken te worden. Til het apparaat niet op aan het handvat.
Pagina 21 Fig. 2-1 De schroeven die vastgeschroefd worden aan de chassisbodem beveiligen het apparaat bij transport. Bij werkzaamheden aan de UL1000 Fab dienen de schroeven vooraf losgedraaid te worden. Verwijder daarvoor als eerste de contramoer (Refer to keyword ). Fig. 2-2...
Pagina 22 Draai vervolgens de schroeven ca. 10 mm los en draai uiteindelijk de contramoer weer aan. Fig. 2-3 Draai voor het transport de schroeven weer vast en maak deze vast met de contra- moer. Installatie...
Pagina 23: Plaatsing
Daarmee wordt verhinderd, dat de lekdetector op hellend vlak bewegen kan. Het is aan te raden om binnen een bereik van 10 m van de UL1000 und UL1000 Fab alle grotere heliumbronnen op de aanwezigheid van een groter lek te onderzoeken.
Pagina 24: Elektrische Aansluitingen
Waarschuwing Voor het aansluiten van de UL1000 und UL1000 Fab op het elektriciteitsnet moet eerst gecontroleerd worden of de aangegeven netspanning op de UL1000 und UL1000 Fab ook overeenkomt met de lokale netspanning. Het apparaat is alleen geschikt om aan te sluiten op een eenfase-netwerk met installatiebeveiligingen (beveiligingsautomaat max.
Pagina 25 Instructie: Om te voorkomen dat de kabel uit het apparaat getrokken wordt, kan deze op de volgende manier beveiligd worden: Fig. 2-4 Instructie: Indien het apparaat niet actief is, kan de kabel om de kabelhouders gewikkeld worden. Fig. 2-5 Installatie...
Pagina 26: Aansluitingen Voor Toebehoren En Besturingssignalen
9. Aansluiting om de kabel te bevestigen 10. Luidspreker 11. Beluchtingsaansluiting 12. Spoelgasaansluiting (UL1000 Fab) / Gasballast aansluiting (UL1000) Fig. 2-6 Bij de aansluitingen toebehoren (accessories), digital out (digitale uitgang), digital in (digitale ingang) en recorder (schrijver) bevindt pin 1 zich boven. De pin-nummers worden naar beneden verder geteld.
Pagina 27: Toebehoren (Accessories)
Contact 1 en 3 zijn beveiligd met een trage zekering 0,8 A. Het vermogen dat hier ter beschikking staat is begrensd tot 10 W. De contacten worden van boven naar beneden doorgenummerd. Contact Signaal +24 V, duurspanning, stroomtoevoer voor de INFICON snuffelleiding SL200. GND24 (referentiepotentiaal voor de 24 V spanning) Ingang Uitgang Uitgang...
Pagina 28: Digitale Uitgang (Digital Out)
2.3.2.2 Digitale uitgang (digital out) De volgende relaisuitgangen staan ter beschikking voor verdere signaalverwerking. Het maximale vermogen van de relaiscontacten ligt bij 25V AC/1A. Contact Signaal Contact Signaal +24V, verbonden met contact1 van de CAL Request connector "IN" (digitale ingang) GND_24V (referentiepotentiaal voor ERROR de 24 V spanning)
Pagina 29: Digitale Ingang (Digital In)
2.3.2.3 Digitale ingang (digital in) Deze ingangen kunnen gebruikt worden om de UL1000 und UL1000 Fab met een programmeerbare besturing (PLC) te bedienen. Contact Signaal Contact Signaal +24V, verbonden met pin 1 van de connector "OUT" Vrij (digitale uitgang) GND_24V (referentiepotentiaal voor de 24 V spanning)
Pagina 30: Schrijver (Recorder)
Instructie: De schrijveruitgangen zijn elektrisch geïsoleerd ten opzichte van de andere aansluitingen. Indien er dan nog bromstoringen optreden, kunt u het beste de UL1000 und UL1000 Fab en de schrijver met dezelfde netfase bedienen. Indien dit niet mogelijk is, dient u zich ervan te verzekeren dat de massa's van beide apparaten bij hetzelfde potentiaal liggen.
Pagina 31: Vacuümaansluitingen
Vacuümaansluitingen 2.4.1 Inlaat De inlaat bevindt zich boven op de UL1000 und UL1000 Fab. Het gaat hierbij om een DN 25 KF flens. Indien de vacuüm-lektestmodus geselecteerd wordt, moeten de testitems of de vacuümkamers aangesloten worden op deze flens (zie hoofdstuk Refer to chapter 6.3).
Pagina 32: Leverstatus
Leverstatus De volgende parameters zijn als volgt ingesteld wanneer men in het menu van de UL1000 und UL1000 Fab onder instellingen → parameters laden/opslaan het punt "Defaultwaarden laden" selecteert: Auto-schaalaanduiding: Schaalaanduiding: logaritmisch Weergavebereik: 4 decaden Tijdsas: 32 seconden LCD invers:...
Pagina 33: Controle Voor Inbedrijfstelling
Refer to chapter 5 voor een meer gedetailleerde beschrijving. 3.2.1 Opstarten en meten Pak de UL1000 und UL1000 Fab uit en onderzoek deze op zichtbare schade (zie hoofdstuk Refer to chapter 1.4). Sluit het apparaat aan op het elektriciteitsnetwerk (zie hoofdstuk Refer to chapter 2.3.1 Netaansluiting).
Pagina 34 Fig. 3-1 Afbeelding van de UL1000 und UL1000 Fab Pos. Beschrijving Bedieningspaneel Inlaat Controleer of de inlaat Fig. 3-1/2 blindgeflensd is. Verbind, indien dit niet het geval is, een blindflens met o-ring-afdichting met de inlaat. Druk op de START toets Fig. 3-2/6. Kort daarna wordt de inlaat geëvacueerd en dan wordt de gemeten uitstroomsnelheid weergegeven.
Pagina 35 ZERO toets gedurende 2 … 3 seconden in. Druk op de STOP toets Fig. 3-2/13 en de UL1000 und UL1000 Fab is klaar voor gebruik (stand-by). Indien men de STOP toets enkele seconden indrukt, wordt de inlaat van de UL1000 und UL1000 Fab belucht.
Pagina 36: Interne Kalibratie
3.2.2 Interne kalibratie Ga nu verder met de interne kalibratie (zie hoofdstuk Refer to chapter 7.2.1 Interne kalibratie). Om de kwantitatief beste meetresultaten te bereiken, dient u (15 … 20 minuten) te wachten tot het apparaat opgewarmd is. • Druk op de CAL (Kalibratie) toets (toets nr. 5 Fig. 3-2/8) om het kalibratiemenu te openen.
Pagina 37: Beschrijving En Werkwijze
Het vacuüm wordt bereikt met behulp van het geïntegreerde pompsysteem. Een andere bedrijfsmodus van de UL1000 und UL1000 Fab is de snuffelmodus, die alleen in combinatie met een snuffelleiding (zie hoofdstuk Refer to chapter 1.4.2 Toebehoren en opties) gebruikt kan worden.
Pagina 38 Het volgende vacuümdiagram toont de belangrijkste componenten binnen in de UL1000 und UL1000 Fab: Fig. 4-1: Vacuüm-diagram UL1000 und UL1000 Fab Pos. Beschrijving MS: Massaspectrometer, heliumsensor (180° magnetische sectorveld- massaspectrometer) Turbomoleculairpomp (TMP, zorgt voor het hoogvacuüm dat nodig is voor de V1a …...
Pagina 39: Bedieningspaneel
4.2.2 Bedieningspaneel De Bedieningspaneel Fig. 4-2/7 heeft een LCD-scherm (LC display), START, STOP, ZERO (achtergrondonderdrukking) en MENU (menu) toetsen en nog acht andere toetsen voor de verschillende menu's en ingevoerde gegevens. Het bedieningspaneel zelf is draaibaar. Fig. 4-2Bedieningspaneel Pos. Beschrijving Pos.
Pagina 40: Start Toets
4.2.2.2 START toets Een druk op de START toets Fig. 4-2/6 activeert de UL1000 und UL1000 Fab, zodat deze met de metingen begint. Indien u in de meetmodus nogmaals op de toets START drukt, wordt de maximale uitstroomsnelheid (hold functie) geactiveerd. Dan wordt de maximale uitstroomsnelheid weergegeven die sinds „START“...
Pagina 41: Menu Toets
Indien het meetsignaal onder de opgeslagen achtergrondwaarde valt, wordt deze automatisch gelijkgesteld aan het achtergrondsignaal. Zodra het signaal weer stijgt, blijft de opgeslagen achtergrondwaarde constant. Signaalstijgingen worden duidelijk weergegeven als lek. Het meten van de laagste uitstroomsnelheid wordt daarmee vergemakkelijkt. Fig.
Pagina 42: Numerieke Invoer
Speciale functies Indien in een submenu instellingen geselecteerd kunnen worden, hebben twee toetsen bijna altijd dezelfde functie: • Toets nr. 1 Fig. 4-2/2 heeft de functie terug/afbreken. Daarmee kan men een submenu verlaten zonder de actuele instellingen te veranderen en de vorige menupagina wordt weer weergegeven. •...
Pagina 43: Bedrijfsmodi
Omdat de scrollpomp het testitem verder evacueert, daalt de inlaatdruk p verder. Onder de 2 mbar schakelt de UL1000 und UL1000 Fab in de FINE modus, d.w.z. het ventiel V4a opent en het ventiel V1b sluit. De gasstroom komt op een tussenniveau in de turbopomp.
Pagina 44: Snuffelmodus
Nu evacueert het onderste gedeelte van de turbopomp het testitem en nadat de druk onder de 0.4 mbar gedaald is, schakelt de UL1000 und UL1000 Fab in de ULTRA modus, d.w.z. V1a en V4a sluiten en V4b opent. De gasinlaat in de turbopomp vindt in het bovenste gedeelte plaats.
Pagina 45: Gebruik Van De Ul1000 Und Ul1000 Fab
Gebruik van de UL1000 und UL1000 Fab Door de netschakelaar (zie hoofdstuk Refer to chapter 3.2.1 Opstarten en meten) te bedienen, wordt de UL1000 und UL1000 Fab ingeschakeld. Binnen 3 minuten is de opstartprocedure afgerond; de lekdetector is nu klaar voor gebruik (standby) en is daarmee klaar om te meten.
Pagina 46: Weergave In De Standby Modus
(Zie hoofdstuk 5.3.1). 5.3.1 Spoelprocedure Elke keer als de UL1000 und UL1000 Fab naar standby schakelt, wordt automatisch voor 20 seconden een spoelprocedure geactiveerd. Tijdens deze spoelprocedure wordt de scrollpomp met de purge-aansluiting (Fig. 2-6/11) gespoeld. In de standby modus kan deze spoelprocedure ook nog handmatig geactiveerd worden (toets 7).
Pagina 47: Volume Voor Het Akoestische Signaal
VAC of SNIFF geeft aan welke bedrijfsmodus actief Bedrijfsmodus is (zie hoofdstuk Refer to chapter 6.3 Bedrijfsmodus). Afhankelijk van de inlaatdruk bevindt de UL1000 und UL1000 Fab zich in GROSS, FINE of ULTRA ULTRA Vacuümbereiken modus, die hier weergegeven wordt (zie hoofdstuk Refer to chapter 4.3 Bedrijfsmodi).
Pagina 48: Trend Modus
De tijdsas kan via een menu gedefinieerd worden (zie hoofdstuk Refer to chapter 6.2.3 Tijdsas). De intensiteitsas (Y-as) wordt op dezelfde wijze gedefinieerd als de balkweergave (zie hoofdstuk Refer to chapter 6.2.1 Schaalverdeling lineair/logaritmisch). Fig. 5-2: Display, trend modus Gebruik van de UL1000 und UL1000 Fab...
Pagina 49: Beschrijving Van De Menu's
Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.3. Instelling van meeteenheid, triggerdrempels en alarm. Trigger en alarm Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.4. Kalibratie van de UL1000 und UL1000 Fab. Kalibratie Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.5. Instelling interne apparaatparameter. Instellingen Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.
Pagina 50 1. niveau 2. niveau 3. niveau Schaalverdeling lineair/logaritmisch Weergavebereik automatisch/handmatig Tijdsas Weergave (Zie 6.2) Contrast Achtergrond in standby Aantal plaatsen achter de komma Onderste detectiegrens Bedrijfsmodus (Zie 6.3) Snuffelen / vacuüm / auto lektest Trigger level 1 Trigger level 2 Volume Trigger en alarm (Zie 6.4) Eenheden...
Pagina 51: Weergave
Weergave • Hoofdmenu > Weergave (View) In dit menu Fig. 6-1 zijn alle functies samengevat, die de manier waarop gegevens weergegeven worden beïnvloeden. Fig. 6-1: Het Weergave menu (View) Toets nr. Benaming Beschrijving Terug Terugkeer naar het hoofdmenu. Instellingen voor balkweergave en trend Schaalverdeling lineair/ modus.
Pagina 52: Schaalverdeling Lineair/Logaritmisch
6.2.1 Schaalverdeling lineair/logaritmisch • Hoofdmenu > Weergave > Schaalverdeling lineair/logaritmisch Deze instellingen gelden voor de balkweergave (balk onder de cijfers in de meetmodus) en voor de Y-as in de trend modus. De schaalverdeling voor de balkweergave kan lineair of logaritmisch zijn. Met behulp van de pijlen (omhoog en omlaag) kan vastgesteld worden hoeveel decades van de balkweergave bestreken worden.
Pagina 53: Weergavebereik Automatisch/Handmatig
6.2.2 Weergavebereik automatisch/handmatig • Hoofdmenu > Weergave > Weergavebereik automatisch/handmatig De bovenste grens voor de weergegeven uitstroomsnelheid kan handmatig of automatisch ingesteld worden. Deze instellingen gelden voor de balkweergave (balk onder de cijfers in de meetmodus en voor de Y-as in de trend modus). Door de hier gedefinieerde bovenste grens wordt automatisch de onderste grens vastgesteld, gebaseerd op het aantal gedefinieerde decades (zie hoofdstuk Refer to chapter 6.2.1 Schaalverdeling lineair/logaritmisch).
Pagina 54: Contrast
Indien het display per ongeluk te helder of te donker ingesteld wordt, zodat er niets meer kan worden afgelezen, kan dit als volgt aangepast worden: Schakel de UL1000 und UL1000 Fab uit en schakel deze weer in. Druk tijdens de opstartfase zo lang op toets nr. 3 of nr. 7 tot het display weer goed leesbaar is.
Pagina 55: Aantal Plaatsen Achter De Komma
Met een druk op de START toets wordt deze actueel gemeten interne achtergrond automatisch van alle overige metingen afgetrokken. Hierdoor wordt bewerkstelligd dat alleen de netto-uitstroomsnelheid van het testitem gemeten wordt. Wanneer de lekdetector weer in de standby/beluchte modus gebracht wordt, dan wordt op zijn vroegst na 25 seconden een nieuwe achtergrond overgenomen.
Pagina 56: Bedrijfsmodus
Bedrijfsmodus • Hoofdmenu > Bedrijfsmodus (Mode) Met het menu bedrijfsmodus Fig. 6-2 kunnen via een submenu verschillende bedrijfsmodi geselecteerd worden. Fig. 6-2: Het Bedrijfsmodus menu (Mode) Toets nr. Benaming Beschrijving Afbreken Terugkeer naar het hoofdmenu zonder aanpassing. De snuffelmodus wordt gebruikt. Zie hoofdstuk Refer to Snuffelen chapter 4.3.2 Snuffelmodus.
Pagina 57 Fig. 6-4 Na de test toont het display-venster in standby de volgende instellingen: Fig. 6-5 Testresultaat Achtergrond Gemeten uitstroomsnelheid Modus Nummer van het geteste onderdeel Pauze Beschrijving van de menu's...
Pagina 58 Testen van onderdelen De test kan met de START toets gestart worden. Indien de testkamer TC1000 gebruikt wordt, begint de testprocedure automatisch zodra het deksel van de testkamer gesloten wordt. Na de ingestelde testtijd stopt de test en wordt de kamer automatisch belucht.
Pagina 59: Trigger En Alarm
Trigger en alarm • Hoofdmenu > Trigger en alarm De triggerdrempels, het volume van het akoestische signaal en de eenheid van de uitstroomsnelheid en druk kunnen in het menu ingesteld worden. Fig. 6-7. Fig. 6-7: Het Trigger en alarm menu Toets nr.
Pagina 60: Trigger Level 2
4.2.2.7 Numerieke invoer voor de beschrijving van de invoer. Trigger 1 en trigger 2 zijn programmeerbare schakeldrempels. Wanneer deze drempels overschreden worden, reageert de UL1000 und UL1000 Fab als volgt: Display In de statusbalk van het display worden de symbolen voor trigger 1 en trigger 2 geïnverteerd weergegeven zodra de ingestelde uitstroomsnelheden overschreden...
Pagina 61: Eenheden
Toets nr. 2: Pijl omlaag Minimale volume verlagen. De minimale waarde is 0. Toets nr. 3: Pijl omlaag Actuele volume verlagen. De laagst instelbare waarde is begrensd door het minimale volume. Toets nr. 4: Beep uit/aan Toets nr. 5: Helptekst Toets nr.
Pagina 62: Alarmvertraging
6.4.5 Alarmvertraging • Hoofdmenu > Trigger en alarm > Alarmvertraging Bij enkele toepassingen (bijvoorbeeld tijdens het wegpompen van een "testkamersysteem") kan het nodig zijn een alarm na het drukken op de START toets enige tijd te onderdrukken. De alarmvertragingstijd kan hier veranderd worden. Toets nr.
Pagina 63: Lokaliseren
6.4.6.1 Lokaliseren De toon van het akoestische signaal verandert zijn frequentie alleen binnen een uitstroomsnelheidskader Fig. 6-8waarin het bereik van een decade onder de waarde van triggerdrempel 1 tot een decade boven de waarde van de triggerdrempel ligt. Beneden dit kader is de toon constant laag en boven het kader is deze constant hoog.
Pagina 64: Kalibratie
Kalibratie • Hoofdmenu > Kalibratie (Calibration) Zie hoofdstuk Refer to chapter 7 Kalibratie voor een gedetailleerde beschrijving van de kalibratieprocedure Fig. 6-10. Fig. 6-10: Het Kalibratie menu Instellingen • Hoofdmenu > Instellingen (Settings) Met dit menu Fig. 6-11 kunt u de weergave en instellingen van het apparaat veranderen.
Pagina 65: Vacuüminstellingen
(datum, taal). Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.5 Parameters laden / opslaan Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.6 Beschermingsfuncties van de UL1000 und Controle UL1000 Fab kunnen geselecteerd worden. Zie Refer to chapter 6.6.7 6.6.1 Vacuüminstellingen • Hoofdmenu > Instellingen > Vacuüminstellingen Met dit menu kunt u de weergave en instellingen van het vacuümsysteem...
Pagina 66: Automatisch Spoelen (Alleen Ul1000 Fab)
STOP toets ingedrukt werd. Wanneer de STOP toets ingedrukt wordt gedurende een periode die korter is dan de ingevoerde beluchtingsvertragingstijd, dan gaat de UL1000 und UL1000 Fab alleen in de standby-modus. Wanneer de STOP toets ingedrukt wordt gedurende een periode die langer is dan de ingevoerde beluchtingsvertragingstijd, dan wordt de inlaat belucht.
Pagina 67: Leksnellheid Intern Testlek
In deze bedrijfsmodus blijft de UL1000 und UL1000 Fab na het onderschrijden van 0,4 mbar bij de inlaatflens in het ULTRA bereik (zie Refer to chapter 4.3.1). Bij een druk van > 0,4 mbar bij de inlaatflens schakelt de UL1000 und UL1000 Fab direct in de bedrijfsmodus Evacueren.
Pagina 68: Machinefactor
De machinefactor kan aan de hand van het He-zuigvermogen van de UL1000 und UL1000 Fab en de externe pomp ingeschat worden Meer precies is de meting van de uitstroomsnelheid van een extern testlek op het testitem - een keer met en een keer zonder ingeschakelde externe pomp Het verschil tussen de resultaten bepaalt de machinefactor.
Pagina 69 Fig. 6-12 Voorbeelden voor tijdinstellingen (de INFICON testkamer wordt met een volume van 430 cm³ gebruikt): Reikwijdte van de afkeursnelheid Meettijd 10E-5 2 sec. 10E-6 2 sec 10E-7 2 sec 10E-8 >5 sec 10E-9 >10 sec* * externe kalibratie met een 10E-9 testlek (bijv. TL9) wordt gevraagd.
Pagina 70 Seriefoutmeldingen Het aantal onderdelen dat bij een meting niet voldoet kan met 1 tot 9 geregistreerd worden. In de modus is deze functie uitgeschakeld. DEACTIVEREN Fig. 6-14 Seriefoutmeldingen (Series error message) Wanneer de toets OK ingedrukt wordt, kan een doorgevoerd REFERENTIEMETING worden om de testkamer te reinigen en het niveau van de heliumachtergrond te meten.
Pagina 71: Zero & Achtergrond
Zero & achtergrond • Beschrijving van de menu's > Instellingen > Zero & achtergrond De achtergrondonderdrukking binnen de UL1000 und UL1000 Fab en tevens de karakteristiek van de ZERO-functies kunnen hier geselecteerd worden. Softkey 3: Achtergrondonderdrukking Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.2.1 Softkey 7: ZERO Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.2.2...
Pagina 72: Achtergrondonderdrukking
In deze modus wordt bij elke meting de interne heliumachtergrond afgetrokken van de UL1000 und UL1000 Fab door het drukken van de START-toets. De UL1000 en UL1000 Fab blijft daardoor zuiver na een helium contaminatie. Softkey 3: De interne achtergrondonderdrukking is uitgeschakeld.
Pagina 73: Massa
• Hoofdmenu > Instellingen > Interfaces > Besturing Toets nr. 2 De UL1000 und UL1000 Fab wordt via de digitale ingang (zie hoofdstuk Refer to chapter 2.3.2.3) bestuurd. De START, STOP en ZERO toetsen van het apparaat zijn gedeactiveerd. Toets nr. 3...
Pagina 74: Rs232 Protocol
Selecteer in de bedrijfsmodus "Single Part Measurement" de functie "STORE DATE" om de meetwaarden te registreren. Toets nr. 7 ASCII Hiermee kan de UL1000 und UL1000 Fab via de RS232 terminal bediend worden. Zie voor meer details interfacebeschrijving iins72d1-a. Beschrijving van de menu's...
Pagina 75: Schrijveruitgang
6.6.4.3 Schrijveruitgang • Hoofdmenu > Instellingen > Interfaces > Schrijveruitgang (Recorder output) In dit submenu kunnen de door de schrijver geregistreerde signalen bij de beide schrijveruitgangen ingesteld worden. Toets nr. 1: Afbreken Terugkeren naar het vorige menu, zonder de actuele waarden te veranderen. Toets nr.
Pagina 76: Schaalaanduiding Schrijveruitgang
LR lin De uitgangsspanningen zijn lineair gescaleerd. De uitgangsspanning bedraagt 0 - 10V in instelbare stappen van 0,5 tot 10 volt per decade. Voor het instellen van de schaalaanduiding zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.4.4) LR log De uitgangsspanningen zijn logaritmisch gescaleerd. De uitgangsspanning bedraagt 1 …...
Pagina 77: Diverse
Voorbeeld: Bovenste grenswaarde ingesteld op 10 (= 10 V) Schaalaanduiding ingesteld op 5 V/decade Onderste grenswaarde ligt daarmee bij 10 (= 0 V) 6.6.5 Diverse • Hoofdmenu > Instellingen > Diverse In dit submenu kunnen de actuele datum en de actuele tijd, de gewenste taal en de netfrequentie ingesteld worden.
Pagina 78: Filter Uitstroomsnelheden
De fabrieksinstelling is 50 Hz voor 230 V en 60 Hz voor 115 V. Toets nr. 3: 50 Hz De UL1000 und UL1000 Fab wordt met een 50 Hz net bediend. Toets nr. 6: 60 Hz De UL1000 und UL1000 Fab wordt met een 60 Hz net bediend.
Pagina 79: Onderhoudsmelding Uitlaatfilter
Onderhoudsmelding uitlaatfilter Het uitlaatfilter moet regelmatig onderhouden worden om de correcte functie van de UL1000 und UL1000 Fab veilig te stellen. Indien deze melding verschijnt, herinnert de UL1000 und UL1000 Fab de bediener aan het nodige onderhoud. Toets nr. 3: Uit Toets nr.
Pagina 80: Controle
Hoofdmenu > Instellingen > Controle > Deeltjesbescherming Deze modus kan in- en uitgeschakeld worden. Wanneer deze modus ingeschakeld is, begint de UL1000 und UL1000 Fab pas met wegpompen wanneer de inlaatdruk onder 1 mbar gedaald is, d.w.z. er wordt aange- nomen dat het testitem door een andere parallel lopende pomp weggepompt wordt.
Pagina 81 Met deze functie kunnen de door de fabriek ingestelde schakelpunten tussen de bedrijfsmodi GROSS-FINE-ULTRA aangepast worden. Dit kan nodig zijn indien met de UL1000 und UL1000 Fab een ander gas dan lucht wordt weggepompt. Het druksi- gnaal van de gassoortafhankelijke inlaatdrukweergave (pirani) kan dan overeen- komstig andere schakelwaarden voor de UL1000 und UL1000 Fab sequentierege- ling leveren.
Pagina 82 Maximale evacuatietijd • Hoofdmenu > Instellingen > Vacuüminstellingen > Controle > Maximale evacuatietijd Met dit menupunt wordt vastgelegd wanneer een grove lekmelding dient te verschijnen. De grove lekcontrole bestaat uit twee trappen en de grenswaarden kunnen indien nodig aangepast worden (fabrieksinstelling 30 min). Dit menupunt is vooral praktisch bij serietests met gelijkblijvende testcondities.
Pagina 83: Info
Informatie over de gemeten interne gegevens wordt op 4 pagina's weergegeven. Toets nr. 4: Vacuümschema Het vacuümschema van de UL1000 und UL1000 Fab wordt weergegeven. In dit diagram kan onder andere afgelezen worden welke ventielen momenteel geopend of gesloten zijn.
Pagina 84: Service
(iipa74d1) Gebruikersrechten • Hoofdmenu > Gebruikersrechten (Access control) Via dit menu kan de toegang tot bepaalde functies van de UL1000 und UL1000 Fab beperkt worden. Fig. 6-21. Fig. 6-21: Het menu voor de Gebruikersrechten (Access control) Toets nr. 2: Toegankelijkheid van de CAL-functie Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.8.1...
Pagina 85: Toegankelijkheid Van De Cal-Functie
• Hoofdmenu > Gebruikersrechten > PIN-code apparaten aanpassen De toegang tot de UL1000 und UL1000 Fab kan door de invoer of aanpassing van de pincode van het apparaat beperkt worden. Indien de PIN-code van het apparaat 0000 is, vraagt de UL1000 und UL1000 Fab direct na het inschakelen naar deze PIN- code.
Pagina 86: Kalibratie
Hoewel de UL1000 und UL1000 Fab zeer stabiel is, wordt van tijd tot tijd toch een kalibratie aangeraden om ervoor te zorgen dat aanpassingen aan de omgevingstemperatuur, verontreinigingen of andere invlo- eden de meetnauwkeurigheid niet beïnvloeden.
Pagina 87: Interne Kalibratie
7.2.1 Interne kalibratie Bij de interne kalibratie van de UL1000 und UL1000 Fab zijn er twee mogelijkheden: • Wanneer de lekdetector blind geflensd of door een aangesloten vacuümkamer met een ventiel van de inlaat gescheiden werd, dan kan men de automatische kalibratie selecteren.
Pagina 88 • Zorg ervoor dat het testlek aangesloten en open is. • Lees de uitstroomsnelheid af van het testlek en vergelijk deze met de weergegeven uitstroomsnelheid. Druk bij afwijkingen op de toets uitstroomsnelheid bewerken (toets nr. 4) en corrigeer de waarde. •...
Pagina 89 • Hier is geen actie nodig. Fig. 7-4: Externe kalibratie, stap 4 • Hier is geen actie nodig. Fig. 7-5: Externe kalibratie, stap 5 • Sluit het externe testlek en druk op OK (toets nr. 8). Fig. 7-6: Externe kalibratie, stap 6 Kalibratie...
Pagina 90: Kalibratiefactor-Waardebereik
Druk in dit geval op OK (toets nr. 8). Fig. 7-7: Externe kalibratie, stap 7 • De UL1000 und UL1000 Fab geeft de oude en de nieuw berekende kalibratiefactor weer. Fig. 7-8: Externe kalibratie, stap 8 Kalibratiefactor-waardebereik Om foutieve kalibraties te voorkomen, controleert de UL1000 und UL1000 Fab aan het einde van de kalibratie-routine of de kalibratiefactor plausibel is.
Pagina 91: Foutmeldingen En Waarschuwingen
De UL1000 und UL1000 Fab toont een melding op het LC display en blijft in de standby-modus of meetmodus. De waarschuwingen worden zo lang op het display weergegeven, tot deze met een druk op OK (toets nr.
Pagina 92: Lijst Van Foutmeldingen En Waarschuwingen
Lijst van foutmeldingen en waarschuwingen Op de volgende pagina's wordt een lijst met alle foutmeldingen en waarschuwingen weergegeven. Waarschuwingen beginnen met de letter W gevolgd door een nummer. Foutmeldingen (errors) beginnen met de letter E gevolgd door een nummer. Weergegeven melding Beschrijving en mogelijke oplossing E04 Temperatuurcontrole turbo- Kortsluiting in de temperatuursensor...
Pagina 93 Zekering F1 op de MSV platine is doorgebrand. • 24 V spanning stroomtoevoer ontbreekt. Schakel de UL1000 und UL1000 Fab uit! Door de ontbrekende spanning sluit het uitlaatventiel van de draaischuifpomp wat weer kan leiden tot een verontreiniging van het vacuümsysteem.
Pagina 94 W45 Emissie van de kathode 1 kan Signaal MSIBE op de MSV platine is niet actief. Emissie voor kathode 1 niet ingeschakeld worden. kan niet ingeschakeld worden. De UL1000 und UL1000 Fab schakelt naar kathode 2. Nieuwe ionenbron bestellen. W46 Emissie van de kathode 2 kan Signaal MSIBE op de MSV platine is niet actief.
Pagina 95 1,0 mbar. Zie hoofdstuk Refer to chapter 6.6.1.3. E73 Emissie uit (P te hoog) PV >> 0,2 of 3 mbar door luchtfiltratie, d.w.z. de UL1000 und UL1000 Fab zal proberen weer in de meetmodus te geraken. W76 Maximale "evacuatietijd"...
Pagina 96 Weergegeven melding Beschrijving en mogelijke oplossing W82 Kalibratiefactor te groot! De berekende kalibratiefactor ligt buiten het toegestane bereik (> 10). De oude factor blijft behouden. Mogelijke oorzaken: • Aan de voorwaarden die voor de kalibratie nodig zijn, werd niet voldaan. •...
Pagina 97: Onderhoudswerkzaamheden
Het is aan te raden om voor dit apparaat een onderhoudscontract af te sluiten. Het bereiken van de verschillende onderhoudsintervallen (1500/4000/8000 uur) wordt op het beeldscherm van de lekdetector van de UL1000 und UL1000 Fab na elke start als waarschuwing weergegeven. De melding verschijnt zolang als gevarendriehoek tot het onderhoudsinterval bevestigd wordt.
Pagina 98: Onderhoud Of Service Bij Inficon
Onderhoud of service bij INFICON Indien u een apparaat voor reparatie of onderhoud naar INFICON stuurt, dient u aan te geven of het apparaat vrij is van voor de gezondheid schadelijke stoffen of dat het besmet is. Indien het besmet is, dient u het soort gevaar aan te geven. Daarvoor moet u een door ons opgesteld formulier "verklaring inzake besmetting"...
Pagina 99: Onderhoudsschema
Ventilator chassis-wand-bodem nenten uitblazen Reservefiltercel voor ventilator 200000685 chassiswand vervangen Onderhoudsgroepen Het onderhoudsschema voor de UL1000 und UL1000 Fab kan voor een beter overzicht ingedeeld worden in vier onderhoudsgroepen. • 1500 uur-onderhoud • 4000 uur-onderhoud, minstens 1 keer per jaar •...
Pagina 100: 1500 Uur-Onderhoud
9.5.1 1500 uur-onderhoud De 1500 uur-onderhoud kan door een bediener of onderhoudspersoneel van de klant uitgevoerd worden. Voor de doorvoer van het 1500 uur-onderhoud moet de filtercel voor de ventilatoren gecontroleerd en bij vervuiling vervangen worden. Bij gebruik in een stoffige omgeving kunnen de serviceintervallen ingekort worden.
Pagina 101: 4000 Uur-Onderhoud
4000 uur-onderhoud Het 4000 uur-onderhoud moet door een INFICON servicetechnicus of een door INFICON geautoriseerd persoon een keer per jaar uitgevoerd worden. De olie van de voorpomp in de UL1000 moet ongeacht of de bedrijfsduur van 4000 uur is bereikt, minstens een keer per jaar ververst worden.
Pagina 102: 8000 Uur-Onderhoud
8000 uur bereikt is, toch om de 2 jaar vervangen worden. Bij de scrollmodule van de Varian scrollpomp moet na het bereiken van een bedrijfs- duur van 8000 uur de "tip-seal" door een servicetechnicus van INFICON vervangen worden. Indien de "tip-seal" niet vervangen wordt, moet na 12.000 bedrijfsuren de scrollmodule vervangen worden.
Pagina 103: 16000 Uur-Onderhoud
9.5.4 16000 uur-onderhoud Het 16000 uur-onderhoud moet door een INFICON servicetechnicus of een door INFICON geautoriseerd persoon uitgevoerd worden. Bij 16000 bedrijfsuren is de levensverwachting van de lagers voor de turbopomp en de verschillende voorpomptypes bereikt. Scrollmodule (IWATA ISP 500 of Varian TS 620) en turbopomp moeten vervangen worden.
Pagina 104: Beschrijving Van De Onderhoudswerkzaamheden
Benodigd gereedschap Zijwandseparator uit de toebehoren. Gevaar Voor het verwijderen van een van de afdekkappen van de UL1000 und UL1000 Fab moet de stroomtoevoer van de lekdetector afgesloten worden! • Vacuümcomponenten die aan de inlaat van de UL1000 und UL1000 Fab gemonteerd zijn, moeten van het inlaat-systeem afgesloten worden.
Pagina 105: Controle En Vervanging Van Het Luchtfilterelement
Benodigd materiaal Reservefilterelement P/N 200 000 685 Gevaar Voor het verwijderen van een van de afdekkappen van de UL1000 und UL1000 Fab moet de stroomtoevoer van de lekdetector afgesloten worden! • Zie Refer to chapter 9.6.1 voor het openen van de lekdetector •...
Pagina 106 Fig. 9-2 Luchtfilter chassiswand vervangen Pos. Beschrijving Pos. Beschrijving Uitsparing luchtfilter Geleiding luchtfilter Luchtfilterelement Boring (achter) • Let bij het plaatsen van het nieuwe luchtfilterelement op de ventilatierichting. Deze wordt in bovenstaand Fig. 9-2 met een zwarte pijl weergegeven. Instructie: Het met "clean air side" aangegeven of witte oppervlak van het filterelement moet in de richting van de ventilator wijzen.
Pagina 107: Uitlaat-Geluidsdemper Vervangen
Uitlaat-geluidsdemper vervangen Benodigd materiaal Vervanging geluidsdemper P/N 200 99 183 • Schakel de lekdetector UL1000 Fab uit. • Schroef de geluidsdemper van de aansluitadapter, vervang deze door een nieuwe geluidsdemper en draai deze vast. Zie hiervoor Fig. 9-3/1. Fig. 9-3 Geluidsdemper uitschakelen Pos.
Pagina 108: Uitlaat Filter Controleren/Leegmaken
Uitlaat filter controleren/leegmaken Benodigd gereedschap Ring- steeksleutel SW 17 mm Het uitlaat-filter heeft als taak het uitfilteren van de olienevel die tijdens de pompro- cedure ontstaat door de uitstoot van aangezogen lucht. Uit veiligheidsoverwegingen bezit het uitlaat-filter een ventiel dat opent indien het filter geblokkeerd is en de aangezogen lucht direct naar buiten leidt.
Pagina 109 Fig. 9-4 Inbouwpositie uitlaatfilter Pos. Beschrijving Pos. Beschrijving Klemring KF 16 Markering maximale oliepeil Filterelement Peilglas oliepeil Oliereservoir Markering maximale oliepeil Volg voor het vervangen van het filterelement de volgende procedure: • Verlaag de spanning aan het uitlaatfilter (Fig. 9-4/1) en draai het complete filter in de richting van de pijl zo ver naar buiten dat het oliereservoir kan worden verwijderd.
Pagina 110: Oliepeil D16 B Controleren, Bijvullen
Fig. 9-5 Filterelement uitlaatfilter Pos. Beschrijving Pos. Beschrijving Filterkap Oliereservoir Filterelement Schroef voor olieafvoer Filterhouder • Schuif het nieuwe filterelement op de houder en schroef deze in de filterkap. Draai de houder met het kartelgereedschap goed aan. • Schroef tot besluit het reservoir erin en draai dit stevig aan. Draai het uitlaatfilter weer en fixeer dit met spanning KF16 in de oorspronkelijke inbouwpositie.
Pagina 111 Benodigd gereedschap Zijwandseparator Door het oliepeilglas van de voorpomp D16 B kan het oliepeil en de olieverkleuring visueel gecontroleerd worden. Het oliepeil van de vacuümpomp moet binnen de min. en max. markeringen liggen. Zie hiervoor Fig. 9-6/3-5. Instructie: Olie alleen bij uitgeschakelde pomp controleren en bijvullen! Fig.
Pagina 112: Olie Verversen D16 B
9.11 Olie verversen D16 B De olie moet ververst worden wanneer deze vervuild is, chemisch of mechanisch afgewerkt is. Verder moet er voor of na opslag van de pomp een olieverversing uitgevoerd worden. Voorzichtig Ververs de olie altijd als de vacuümpomp de bedrijfstemperatuur bereikt heeft en uitgeschakeld is! Benodigd gereedschap Zijwandseparator...
Pagina 113: Turbomoleculairpomp Tmh
Scrollpompen (alleen UL1000 Fab) De onderhoudsintervallen voor de verschillende scrollpompen (IWATA, VARIAN) vindt u in het onderhoudsschema in Refer to chapter 9.4. Het onderhoud van de scrollpompen mag uitsluitend door de INFICON service of een door INFICON geautoriseerde servicepartner uitgevoerd worden. Onderhoudswerkzaamheden...
Pagina 114: Appendix
Appendix Diagram Fig. 9-1 Appendix...
Pagina 115: Declaration Of Conformity
Declaration of conformity Declaration of conformity...
Pagina 116 GROSS Accessories Achtergrond Helium uitstroomsnelheid Afmetingen Afstandsbediening Afstandsbediening (hand set) I CAL Alarm INFICON service alleen FINE Informatie alleen ULTRA Inlaatdruk Apparaatfactor Inlaatflens Audioalarm Installatie Automatische interne kalibratie Ionenbron Bedieningspaneel Kalibratie Beluchting Kalibratie, extern Bescherming tegen besmetting Beschermingsklasse Leak Ware...
Pagina 117 Transport Trend modus Purge/gasballast Trigger Trigger alarm Turbomoleculairpomp QT 100 Turbopomp Relaisuitgang Uitlaat RS232 Uitlaatfilter Uitstroomsnelheid ULTRA Schrijver Schrijver (recorder) Servicecentrum Vacuüm diagram Setpoint Vacuümmodus Snuffelleiding Veiligheidssymbolen Snuffelmodus Ventielen Spoelgas/gasballast Vermogensopname START toets Vochtigheid Startup Volume STOP toets Voorvacuümpomp Taal ZERO toets Testlek Zuigvermogen...
Pagina 118 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Vi sit o ur we bsi t e fo r con t act i nfo rm ati on an d o t her sal es o ffice s wo rl dw id e. w w w . i n f i c o n . c o m...

Deze handleiding is ook geschikt voor:

Ul1000