Download Inhoudsopgave Inhoud Print deze pagina

Lijst Van Foutmeldingen En Waarschuwingen - Inficon UL1000 Fab Handboek

Inhoudsopgave

Advertenties

8.2

Lijst van foutmeldingen en waarschuwingen

Nr.
Weergegeven melding
E04 Temperatuurcontrole turbo-
moleculairpomp foutief.
E05 Temperatuurcontrole turbo-
moleculairpomp foutief.
W15 Uitstroomsnelheid te hoog!
Overschakeling naar
standby-modus om besmet-
ting te voorkomen!
W16 Service-interval voor turbo-
pomp is afgelopen!
W17 Service-interval voor
voorpomp is afgelopen!
W18 Service-interval voor uitlaat-
filter is afgelopen!
W21 Tijdsoverschrijding bij
EEPROM schrijffout
W22 Overloop EEPROM wachtrij
E23 24V bij de OPTIE uitgang is te
hoog
E24 24V bij de OPTIE uitgang is te
laag
E25 Gezakte ventielspanning te
laag (< 7V)
W28 Real-timeklok werd terug-
gezet! Voer de datum en tijd
in.
E29 24V voedingsspanning van
de ventilator is te laag.
(< 20V)
E30 24V voedingsspanning van
de afstandsbediening is te
laag. (< 20V)
W31 De offset-spanning van de
voorversterker is te hoog.
(< 5mV)
92
Foutmeldingen en waarschuwingen
Op de volgende pagina's wordt een lijst met alle foutmeldingen en waarschuwingen
weergegeven. Waarschuwingen beginnen met de letter W gevolgd door een
nummer. Foutmeldingen (errors) beginnen met de letter E gevolgd door een
nummer.
Beschrijving en mogelijke oplossing
Kortsluiting in de temperatuursensor
Temperatuursensor onderbroken
De controlefunctie "bescherming tegen besmetting" is geactiveerd en
er werd een uitstroomsnelheid gedetecteerd die boven de ingestelde
grenswaarde ligt.
Grof lek.
Uitschakelgrenswaarde is te klein.
Alarmvertraging werd te kort ingesteld.
Het service-interval voor de turbopomp is afgelopen.
Het service-interval voor de voorpomp is afgelopen!
Het service-interval voor het uitlaatfilter is afgelopen!
EEPROM defect
MC 68 defect
EEPROM defect
MC 68 defect
De spanning 24V bij de OPTIE uitgang is te hoog.
Zekering F2 bij het I/O-board is defect.
I/O-board is defect
Accu van MC68 is ontladen of defect.
MC68 werd vervangen.
Zekering F1 op bedradingsniveau defect.
Zekering F1 bij de I/O-kaart is defect.
De voorversterker is defect.

Advertenties

Inhoudsopgave
loading

Gerelateerde Producten voor Inficon UL1000 Fab

Deze handleiding is ook geschikt voor:

Ul1000

Inhoudsopgave