Inhoudsopgave
Advertenties
9.12
Turbomoleculairpomp TMH 071
9.13
Scrollpompen (alleen UL1000 Fab)
De turbomoleculairpomp moet jaarlijks of na alle 4000 bedrijfsuren onderhouden
worden. Zie voor meer details de PFEIFFER handleiding PM 800 504 BN/F en PT
0017 BN/B. Wij adviseren u om deze onderhoudswerkzaamheden door de INFICON
service of een door INFICON geautoriseerde servicepartner uit te laten voeren.
De onderhoudsintervallen voor de verschillende scrollpompen (IWATA, VARIAN)
vindt u in het onderhoudsschema in Refer to chapter 9.4.
Het onderhoud van de scrollpompen mag uitsluitend door de INFICON service of een
door INFICON geautoriseerde servicepartner uitgevoerd worden.
Onderhoudswerkzaamheden
113
Advertenties
Inhoudsopgave
