Inhoudsopgave
Advertenties
4
Beschrijving en werkwijze
4.1
Inleiding
4.2
Opbouw van de UL1000 und UL1000 Fab
4.2.1
Vacuümsysteem
De UL1000 en de UL1000 Fab zijn helium-lekdetectoren voor vacuümtoepassingen,
d.w.z. het testitem wordt bij de test geëvacueerd. Het vacuüm wordt bereikt met
behulp van het geïntegreerde pompsysteem.
Een andere bedrijfsmodus van de UL1000 und UL1000 Fab is de snuffelmodus, die
alleen in combinatie met een snuffelleiding (zie hoofdstuk Refer to chapter 1.4.2
Toebehoren en opties) gebruikt kan worden.
De UL1000 und UL1000 Fab is een zelfstandige eenheid in een metalen behuizing
op wielen. Deze behuizing omvat het complete vacuümsysteem en de bijbehorende
stroomtoevoer. Boven op de lekdetector bevinden zich de inlaatflens en het display.
De massaspectrometer bestaat hoofdzakelijk uit ionenbronnen, magnetische
afscherming en ionenvangers.
De gasmoleculen in de massaspectrometer worden door de ionenbron geïoniseerd.
Deze positief geladen deeltjes worden in een magnetisch veld versneld in een cirkel-
vormige baan De radius van deze cirkelvormige baan is afhankelijk van de
verhouding tussen massa en elektrische lading van de ionen. Alleen heliumionen
kunnen dit filter passeren en zo de ionenvanger bereiken waar de stroom van ionen
als elektrische stroom geregistreerd wordt.
Bij het gebruik van de massaspectrometer dient de vacuümdruk tussen de
-4
< 1×10
mbar of weiniger te liggen. Deze druk wordt opgewekt door de turbomole-
culairpomp die weer ondersteund wordt door een scrollpomp.
Het pompsysteem zorgt naast het opwekken en handhaven van de druk in de
massaspectrometer tevens voor de evacuatie van de testitems. Op elk moment
wordt vastgesteld dat de druk in de massaspectrometer laag genoeg is. De ventielen
V1a, V1b, V2, V4a, V4b regelen de gasstroom tijdens de meting. De ventielen V5
(alleen UL1000), V6 en V8 worden ingezet om het systeem en de turbopomp te
beluchten. Ventiel V7 opent en sluit het interne testlek tijdens de kalibratieprocedure.
Wanneer de druk in het testitem lager is dan de omgevingslucht, kan er, in geval van
een lek, helium, waarmee het testitem besproeid wordt, in het testitem geraken.
Zodra de drukcondities het toestaan, opent een ventiel in de richting van de TMP. Nu
kan er helium tegen de pomprichting van de TMP in (ook in tegenstroom) in de
massaspectrometer geraken.
Zie hoofdstuk Refer to chapter 4.3 Bedrijfsmodi voor gedetailleerde informatie.
Beschrijving en werkwijze
37
Advertenties
Inhoudsopgave
