Inhoudsopgave
Advertenties
Nr.
Weergegeven melding
E44 Kathodestroom is te laag!
W45 Emissie van de kathode 1 kan
niet ingeschakeld worden.
W46 Emissie van de kathode 2 kan
niet ingeschakeld worden!
E47 Emissie kan bij beide
kathodes niet ingeschakeld
worden!
E48 Anodenverwarming defect!
E50 Geen communicatie met de
turbopomp.
E52 Frequentie turbopompen te
klein!
W53 Temperatuur bij de elektroni-
sche component is te hoog!
(> 55°C)
E
54 Temperatuur bij de elektroni-
sche component is te hoog!
(> 60°C)
W55 Temperatuur bij de elektroni-
sche component is te laag
(< 2°C).
E56 Inlaatdruk p1 te laag!
E58 Voorvacuümdruk p2 te laag! U < 0,27 V; kathode defect.
E60 p2 > 10 mbar binnen 5
minuten na het inschakelen.
E61 Emissie foutief.
94
Foutmeldingen en waarschuwingen
Beschrijving en mogelijke oplossing
•
Signaal MPKZN op de MSV platine is actief. Kathodestroom is te
gering, I > 0,2 A.
•
MSV is defect.
Signaal MSIBE op de MSV platine is niet actief. Emissie voor kathode 1
kan niet ingeschakeld worden. De UL1000 und UL1000 Fab schakelt naar
kathode 2. Nieuwe ionenbron bestellen.
Signaal MSIBE op de MSV platine is niet actief. Emissie voor kathode 2
kan niet ingeschakeld worden. De UL1000 und UL1000 Fab schakelt naar
kathode 1. Nieuwe ionenbron bestellen.
Signaal MSIBE op de MSV platine is niet actief. De emissie kan niet
ingeschakeld worden. Kathode vervangen door het verwisselen van de
ionenbron. Na het vervangen van de ionenbron moet het in het service-
menu mogelijk zijn beide kathoden handmatig in te schakelen.
Signaal MSAFD op de MSV platine is actief. Zekering voor de anodenver-
warming is doorgebrand.
Zekering F2 op de MSV platine vervangen.
Puls van de frequentieomvormer is uitgevallen. Geen communicatie met
de frequentieomvormer.
•
Het toerental van de turbomoleculairpomp is te klein.
•
Frequentieomvormer is defect.
•
Turbomoleculairpomp is defect.
•
De omgevingstemperatuur is te hoog.
•
De ventilator is uitgevallen.
•
Het luchtfilter is vervuild.
•
Omgevingstemperatuur is te hoog.
•
De interne ventilatie is uitgevallen.
•
De luchtfilters zijn vervuild en moeten vervangen worden.
•
De temperatuursensor op het bedradingsniveau geeft aan dat T < 2 °C.
Langere opstarttijd voor de voorvacuümpomp.
•
Temperatuursensor is defect.
U < 0,27 V; kathode defect.
Vervang de thermovac-sensor die P
Vervang de thermovac-sensor die P
PV >3,8 mbar binnen t > 5 minuten na het inschakelen. Opstarttijd van de
voorvacuümpomp is te lang.
•
Voorpomp is defect.
•
Ventiel V2 opent niet.
Emissie zou ingeschakeld moeten worden. MSV component meldt een
fout. MENB emissiestroom buiten het toegestane bereik.
mist.
1
mist.
2
Advertenties
Inhoudsopgave
