Inhoudsopgave
Advertenties
Automatische nulpuntinstelling
Meting en automatische aanpassing aan de helium achtergrond.
Met deze functie wordt het interne nulpunt van het apparaat bepaald, dat dan van het
actueel gemeten leksignaal afgetrokken wordt. Deze functie wordt geactiveerd met
een druk op de Start-toets indien de UL1000 of UL1000 Fab minstens 20 seconden
in de bedrijfsmodus "Standby" of "Beluchten" actief is. Indien later de voorheen
onderdrukte heliumachtergrond verder daalt, zodat alleen de detectiegrens weerge-
geven wordt, dan wordt het nulpunt automatisch aangepast.
GROSS
GROSS is een meetmodus die hoge inlaatdruk toestaat (1 tot 15 mbar). De onderste
detectiegrens bedraagt hier 1x10
FINE
FINE is de bedrijfsmodus voor inlaatdruk tussen 2 en 0,4 mbar. De detectiegrens
bedraagt hier 1x10
Voorvacuümdruk
Druk in het voorvacuüm tussen de turbomoleculaire pomp en de voorvacuümpomp.
Interne heliumachtergrond
De aanwezige partiële druk van helium in het meetsysteem. De grootte van de
interne heliumachtergrond wordt in de bedrijfsmodus "Standby" gemeten en van het
gemeten signaal afgetrokken. (zie boven: Automatische nulpuntinstelling)
Kleinst aantoonbare uitstroomsnelheid
De kleinste aantoonbare uitstroomsnelheid die de UL1000 of UL1000 Fab kan regis-
-12
treren (≤ 5x10
mbar l/s).
Menu
Met het menu kan de bediener de UL1000 of UL1000 Fab naar wens programmeren.
Het menu heeft een boomstructuur.
Meten / meetmodus
De UL1000 of UL1000 Fab meet de uitstroomsnelheid van het testitem.
ULTRA
ULTRA is het meetbereik met de hoogste gevoeligheid bij een inlaatdruk onder
0,4 mbar. De kleinste aantoonbare uitstroomsnelheid bedraagt hier 5x10
Leverstatus af fabriek
Staat van de UL1000 of UL1000 Fab, zoals ze af fabriek worden geleverd.
-6
mbar l/s.
-10
mbar l/s.
-12
mbar l/s.
9
Algemeen
Advertenties
Inhoudsopgave
