Inhoudsopgave
Advertenties
Toets nr. 3:
Uit
Toets nr. 4:
Grenswaarde invoeren
Numerieke invoer van de uitschakelgrenswaarde
Toets nr. 5:
Helptekst
Toets nr. 7:
Aan
Drukgrens voor vacuümbereiken
•
Hoofdmenu > Instellingen > Vacuüminstellingen > Controle > Drukgrens voor
vacuümbereiken
Met deze functie kunnen de door de fabriek ingestelde schakelpunten tussen de
bedrijfsmodi GROSS-FINE-ULTRA aangepast worden. Dit kan nodig zijn indien met
de UL1000 und UL1000 Fab een ander gas dan lucht wordt weggepompt. Het druksi-
gnaal van de gassoortafhankelijke inlaatdrukweergave (pirani) kan dan overeen-
komstig andere schakelwaarden voor de UL1000 und UL1000 Fab sequentierege-
ling leveren. Door de vooringestelde schakelpunten te veranderen, kan dit
opgeheven worden.
Toets nr. 2, 6:
15-3 mbar (defaultwaarde 15 mbar)
Toets nr. 3, 7:
2-0,5 mbar (defaultwaarde 2 mbar).
Bij het aanpassen van deze waarden wordt de schakeldrempel voor FINE-ULTRA
automatisch 0,4 - 0,1 mbar.
Toets nr. 4
Nogmaals indrukken van de toets defaultwaarde voor lucht
Toets nr. 5:
Helptekst
Drukgrenzen voor snuffelmodus
•
Hoofdmenu > Instellingen > Vacuüminstellingen > Controle >
Drukgrenzen voor snuffelmodus
Deze functie wordt in de snuffelmodus automatisch geactiveerd. De drukgrenzen
definiëren een maximale en een minimale inlaatdruk. Indien de druk niet in dit bereik
ligt, worden foutmeldingen gegeven:
Inlaatdruk > bovengrens:
Inlaatdruk < ondergrens:
capillaire).
Toets nr. 3 en nr. 6:
Toets nr. 4 en nr. 7:
Toets nr. 5
Schakeldrempel EVAC-GROSS
Schakeldrempel GROSS-FINE
Instellingen voor ARGON
?
Capillair defect.
Gasstroom door de capillair is te klein (geblokkeerde
Instelling van de maximale druk: Bovengrens 2 mbar.
Instelling van de minimale druk: Ondergrens 0,02 mbar
Helptekst
Beschrijving van de menu's
81
Advertenties
Inhoudsopgave
