Inhoudsopgave
Advertenties
38
Beschrijving en werkwijze
Het volgende vacuümdiagram toont de belangrijkste componenten binnen in de
UL1000 und UL1000 Fab:
Fig. 4-1: Vacuüm-diagram UL1000 und UL1000 Fab
Pos. Beschrijving
1
MS: Massaspectrometer, heliumsensor (180° magnetische sectorveld-
massaspectrometer)
2
Turbomoleculairpomp (TMP, zorgt voor het hoogvacuüm dat nodig is voor de
MS)
3
V1a ... V8: Magneetventielen voor de besturing van de gasstromen.
4
Scrollpomp (zorgt voor de voorvacuümdruk voor de TMP en pompt bovendien
de testitems weg)
5
Inlaatflens
Advertenties
Inhoudsopgave
