Download Inhoudsopgave Inhoud Print deze pagina

Inficon UL1000 Fab Handboek pagina 93

Inhoudsopgave

Advertenties

Nr.
Weergegeven melding
W32 Voorversterker-temperatuur
is te hoog. (< 60°C)
W33 Voorversterker-temperatuur
te laag. (< 2°C)
E34 24V spanning op MSV-kaart
is te laag!
E35 Anode-kathode-spanning is
te hoog!
E36 Anode-kathode-spanning is
te laag!
E37 Regelgrootheid suppressor-
spanning te groot.
E38 Suppressor-potentieel te
hoog.
E39 Suppressor-potentieel te laag Suppressor-potentieel is kleiner dan 297 V.
E40 Het anodepotentieel
overschrijdt de gewenste
waarde met meer dan 10%.
E41 Het anodepotentieel onder-
schrijdt de gewenste waarde
met meer dan 10%.
E42 Gewenste waarde van het
anodepotentieel is te groot!
E43 Kathodestroom is te hoog!
MSV Cat-Heater I>>l
Beschrijving en mogelijke oplossing
De temperatuur van de omgeving is te hoog.
Het luchtfilter is vervuild.
De temperatuur van de omgeving is te laag.
De temperatuursensor is defect.
Signaal MVPZN op de MSV platine is actief. 24 V spanning op MSV-kaart
is te laag, U < 18,3 V.
Zekering F1 op de MSV platine is doorgebrand.
24 V spanning stroomtoevoer ontbreekt.
Schakel de UL1000 und UL1000 Fab uit!
Door de ontbrekende spanning sluit het uitlaatventiel van de
draaischuifpomp wat weer kan leiden tot een verontreiniging van het
vacuümsysteem.
Referentiespanning UREF op de MSV platine XT7/1 is te hoog, U > 5
V.
Anode-kathodespanning is hoger dan 130 V.
MSV is defect.
Anode-kathodespanning is kleiner dan 30 V.
MSV is defect.
Signaal MFSZH op de MSV platine is actief. Suppressorsignaal regelgroo-
theid is te hoog.
Suppressorspanning is getroffen door kortsluiting.
MSV is defect.
Suppressorpotentieel is groter dan 363V.
MSV is defect
MSV is defect.
De werkelijke waarde van de anodespanning overschrijdt de gewenste
waarde met 10%. De gewenste waarde kan in het servicemenu (onder
"info") weergegeven worden.
MSV is defect.
De werkelijke waarde van de anodespanning is 10% onder de gewenste
waarde gedaald. De gewenste waarde kan in het servicemenu (onder
"info") weergegeven worden.
Luchtinfiltratie.
MSV is defect.
Signaal MFAZH op de MSV platine is actief.
De anodespanning is kortgesloten.
De gewenste waarde voor de anodespanning is te hoog. De
anodespanning is beperkt tot 1.200 V.
Signaal MPKZH op de MSV platine is actief. Kathodestroom is te hoog,
I > 3,6 A.
MSV is defect.
Foutmeldingen en waarschuwingen
93

Advertenties

Inhoudsopgave
loading

Gerelateerde Producten voor Inficon UL1000 Fab

Deze handleiding is ook geschikt voor:

Ul1000

Inhoudsopgave