Inhoudsopgave
Advertenties
9.5.4
16000 uur-onderhoud
Uit te voeren werkzaamheden
Scrollkop vervangen (IWATA ISP-500B)
Scrollkop vervangen (Varian TS 620)
Voorpomp D16 reviseren (alleen UL1000)
TMH 071vervangen
Ventielblok demonteren/reinigen
Ventielafdichtingen vervangen
Filter controleren/vervangen
Aanbevolen lagerwissel van de TMH071 na 3
jaar zonder termijnbegrenzing! Zie hoofdstuk
Refer to chapter 9.5.5
Controle en afstelling
9.5.5
Instructies voor het onderhoud van de TMH 071
Het 16000 uur-onderhoud moet door een INFICON servicetechnicus of een door
INFICON geautoriseerd persoon uitgevoerd worden.
Bij 16000 bedrijfsuren is de levensverwachting van de lagers voor de turbopomp en
de verschillende voorpomptypes bereikt. Scrollmodule (IWATA ISP 500 of Varian TS
620) en turbopomp moeten vervangen worden. Voor de D16 B in de UL1000 is het
raadzaam een algemene revisie door te voeren.
Benodigd materiaal
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
Het onderhoud neemt ca. 10 uur in beslag, indien de TMH 071 vervangen wordt.
De turbomoleculairpomp TMH 071 is voor de smering van de kogellagers gevuld met
een smeermiddel. De smeermiddelopslag moet onafhankelijk van het bereikte aantal
bedrijfsuren van de turbopomp na 2 jaar vervangen worden. De vervanging van de
smeermiddelopslag moet door een INFICON-servicetechnicus of een door INFICON
geautoriseerd persoon uitgevoerd worden.
Scrollkop voor IWATA ISP-500B
Scrollkop vervangen voor Varian TS 620
Voorpomp D16 B algemeen gereviseerd
Turbopomp TMH 071
Pakkingset ventielblok
Pakkingset voor ventielen
Reservefiltercel voor ventilator
Reservefilter voor water- en
spoelgasleiding
Geluidsdemper voor uitlaat (alleen UL1000
Fab)
Filterelement oliefilter (10 stuks) alleen
UL1000
Vervanging turbopomp TMH 071
Onderhoudswerkzaamheden
Best.-nr.
200000217R
200001665R
200000569R
200000593
200000594
200000685
200000683
20099183
200000694
200000569R
103
Advertenties
Inhoudsopgave
