Inhoudsopgave
Advertenties
6.6.1.4
Leksnellheid intern testlek
Toets nr. 2:
ALLEEN ULTRA
In deze bedrijfsmodus blijft de UL1000 und UL1000 Fab na het onderschrijden van
0,4 mbar bij de inlaatflens in het ULTRA bereik (zie Refer to chapter 4.3.1). Bij een
druk van > 0,4 mbar bij de inlaatflens schakelt de UL1000 und UL1000 Fab direct in
de bedrijfsmodus Evacueren.
Toets nr. 3:
ALLEEN FINE
In deze bedrijfsmodus blijft de UL1000 und UL1000 Fab na het onderschrijden van
2 mbar bij de inlaatflens in het FINE bereik. Ventiel V1a wordt gesloten. Bij een
drukstijging van > 1 mbar bij de inlaatflens schakelt de UL1000 und UL1000 Fab
direct in de bedrijfsmodus Evacueren. De onderste detectiegrens van FINE ONLY
-10
ligt bij 1 x 10
mbar l/s.
Het voordeel van FINE ONLY is dat tijdens de meetmodus bij deze instelling geen
ventielen schakelen.
Toets nr. 4:
SOFTPOMP
In deze modus houden de UL1000 en de UL1000 Fab het ventiel V1a gesloten
terwijl deze in GROSS of FINE modus wegpompt. Op deze manier wordt de pomps-
nelheid met ongeveer factor 2 verkleind.
Toets nr. 5:
?
Helptekst
Toets nr. 6:
HIGHPOMP (alleen UL1000)
In deze modus laat de UL1000 het ventiel V1a open om de pompsnelheid bij de
inlaat te verhogen. Dit helpt de wegpomptijd te verkleinen wanneer grote onder-
delen getest worden.
Toets nr. 7:
Alle bereiken (default instelling)
Dit is de standaardinstelling. De procedure verloopt volgens hoofdstuk Refer to
chapter 4.3.1.
•
Hoofdmenu > Instellingen > Vacuüminstellingen > Leksnellheid intern testlek
De waarde van het interne testlek kan hier ingevoerd worden. Zie hoofdstuk Refer to
chapter 4.2.2.7 Numerieke invoer voor een beschrijving van deze invoer.
Waarschuwing
Normaal gesproken is het niet nodig de gegevens over de uitstroomsnelheid van
het interne testlek aan te passen, behalve wanneer deze vervangen wordt.
Incorrecte informatie over de uitstroomsnelheid van het interne testlek leidt tot
verkeerde metingen van de uitstroomsnelheid!
Beschrijving van de menu's
67
Advertenties
Inhoudsopgave
