Inhoudsopgave
Advertenties
4.3
Bedrijfsmodi
4.3.1
Vacuümmodus
Zoals eerder genoemd (zie hoofdstuk Refer to chapter 4.2.1 Vacuümsysteem), moet
het testitem geëvacueerd worden waardoor het van buiten op het testitem
gesproeide helium door het drukverschil via een mogelijk lek in het testitem geraken
kan.
Met een druk op de toets START toets openen de ventielen V1a en V1b en wordt het
testitem door de voorvacuümpomp (UL1000) of de scrollpomp leeggepompt
(UL1000 Fab). Tegelijkertijd wordt ventiel V2 gesloten om te voorkomen dat de druk
in de turbopomp en in de massaspectrometer stijgt. Wanneer ventiel V2 gesloten is,
werkt de turbopomp zonder ondersteuning van de scrollpomp. Omdat de massas-
pectrometer al geëvacueerd is, wordt er van daaruit verder geen gas meer gepompt.
Daardoor blijft de druk p
Indien door bijv. een zeer lange pompprocedure de druk P
P
> 10 mbar de evacuatie onderbroken (V1a en V1b gesloten) en V2 wordt voor
2
een korte periode geopend om weer een geschikt voorvacuüm (P
creëren.
In de volgende diagrammen wordt de gasstroom tijdens de evacuatie en tijdens de
bedrijfsmodi GROSS, FINE en ULTRA weergegeven.
MS
V4b
V8
p
V6
V4a
2
V2
V1b
V5
Fig. 4-6: links: Evacuatie (geen meting), rechts: GROSS modus
De voorwaarden voor de beschreven evacuatieprocedure blijven behouden, tot de
inlaatdruk p
lager is dan 15 mbar. Nu opent ventiel V2 zich. Eventueel aanwezig
1
helium kan nu in tegenstroom in de massaspectrometer stromen waar het vervol-
gens geregistreerd wordt. De bedrijfsmodus wordt GROSS genoemd, de onderste
detectiegrens bedraagt 1×10
Omdat de scrollpomp het testitem verder evacueert, daalt de inlaatdruk p
Onder de 2 mbar schakelt de UL1000 und UL1000 Fab in de FINE modus, d.w.z. het
ventiel V4a opent en het ventiel V1b sluit. De gasstroom komt op een tussenniveau
in de turbopomp. De systeemgevoeligheid is nu groter, de onderste detectiegrens
-10
bedraagt 1×10
mbar l/s.
constant of stijgt deze langzaam.
2
V1a
V5
TL
p
V7
1
V8
p
-6
mbar l/s.
toch stijgt, wordt bij
2
< 1 mbar) te
2
V1a
MS
TL
p
V4b
V7
1
V6
V4a
2
V2
V1b
V5
Beschrijving en werkwijze
V5
verder.
1
43
Advertenties
Inhoudsopgave
