Inhoudsopgave
Advertenties
Opmerkingen over de inbedrijfstelling van de turbopomp
1. Wanneer u gebruikmaakt van waterkoeling, dient u het koelwater en de doorvoer in de gaten te
2. Wanneer u spergas gebruikt, dient u het spergasdebiet en de doorvoer in de gaten te houden.
3. Zorg voor de stroomtoevoer voor de voedingseenheid.
6.2 Bedieningsmodi
De turbopomp kan in verschillende modi worden bediend.
● Bediening zonder bedieningseenheid
● Bediening via verbinding "X3"
● Bediening via de RS-485-interface van de bedieningseenheid van Pfeiffer Vacuum of een pc
● Bediening via verbinding "E74"
● Bediening via veldbus
6.2.1 Bediening zonder bedieningseenheid
Opmerkingen over de bediening zonder bedieningseenheid
1. Gebruik alleen de verbindingskabels met bruggen op de "X3"-verbinding op de elektronische aan-
2. Schakel de voeding van de turbopomp alleen onmiddellijk vóór het gebruik in.
Na het toepassen van de bedrijfsspanning voert de elektronische aandrijfeenheid een zelftest uit, om de
voedingsspanning te controleren. Nadat de zelftest succesvol is uitgevoerd, start u de turbopomp en ac-
tiveert u, in overeenstemming met de configuratie, de extra aangesloten apparaten.
6.2.2 Bediening via verbinding "E74"
De bediening is mogelijk via de 15-polige D-sub-verbinding met de "E74" toewijzing op de elektronische
aandrijfeenheid. Naast de signalen, gedefinieerd in de richtlijn SEMI E74-0301, is de verbinding voor-
zien van een geïnverteerd alarmsignaal en een analoge uitgang.
Instructies voor de bediening met E74
► Raadpleeg de bedieningsinstructies van de elektronische aandrijfeenheid met de E74-versie.
6.2.3 Bediening via de multifunctionele verbinding "X3"
Er is een afstandsbediening beschikbaar via de 15 polige D-Sub-verbinding met de "X3" toewijzing op
de elektronische aandrijfeenheid. De toegankelijke individuele functies worden weergegeven als "PLC-
niveaus".
Instructies voor het bedienen van de afstandsbediening
► Raadpleeg de bedieningsinstructies van de elektronische aandrijfeenheid.
6.2.4 Bediening via de bedieningseenheid van Pfeiffer Vacuum
Door een bedieningseenheid van Pfeiffer Vacuum aan te sluiten, kan de turbopomp worden bestuurd
via statische parameters die in de elektronische aandrijfeenheid zijn opgeslagen.
Gebruik van de bedieningseenheid
1. Neem de betreffende gebruiksaanwijzingen voor het gebruik van de bedieningseenheden van
2. Neem de gebruiksaanwijzing van de elektronische aandrijfeenheid in acht die is inbegrepen bij de
houden.
Automatische start
Wanneer de voedingsspanning wordt ingeschakeld nadat de contacten van de pennen 2, 5
en 7 van de "X3"-connector zijn overbrugd of wanneer een aansluitkabel met overbruggin-
gen is gebruikt, start de turbopomp direct op.
drijfeenheid die door Pfeiffer Vacuum zijn goedgekeurd.
Pfeiffer Vacuum in acht:
– De gebruiksaanwijzingen zijn beschikbaar via het
levering van de vacuümpomp.
Bediening van de machine
Download
Center.
33/60
Advertenties
Inhoudsopgave
