Inhoudsopgave
Advertenties
5 Installatie
De installatie van de turbopomp en de bevestiging ervan is van groot belang. De rotor van de turbo-
pomp draait met zeer hoge snelheid. In de praktijk is het niet mogelijk om het risico uit te sluiten dat de
rotor de stator raakt (bijvoorbeeld door het binnendringen van vreemde voorwerpen in de hoogvacuüm-
verbinding). De vrijgekomen kinetische energie werkt in een fractie van een seconde in op de behuizing
en op de verankering van de turbopomp.
Uitgebreide tests en berekeningen volgens ISO 27892 bevestigen de veiligheid van de turbopomp zo-
wel met betrekking tot botsingen (vernietiging van de rotorbladen) als tot barsten (breuk van de rotoras).
De experimentele en theoretische resultaten worden uitgedrukt in veiligheidsmaatregelen en aanbeve-
lingen voor de juiste en veilige bevestiging van de turbopomp.
5.1 Voorbereidende werkzaamheden
Gevaar voor snijwonden door bewegende onderdelen met scherpe randen bij het reiken in de
open hoogvacuümflens
Met een open hoogvacuümflens is toegang tot onderdelen met scherpe randen mogelijk. Een hand-
matige rotatie van de rotor vergroot het gevaar in deze situatie. Er bestaat het risico op snijwonden
tot en met afgesneden lichaamsdelen (bijvoorbeeld vingertoppen). Er bestaat het risico dat haren en
losse kleding naar binnen worden getrokken. Als er voorwerpen in de turbopomp vallen, wordt de
pomp onherstelbaar beschadigd als deze weer wordt bediend.
► Verwijder alleen de originele beschermkappen direct voordat de hoogvacuümflens wordt aange-
► Kom niet met uw handen in de hoogvacuümaansluiting.
► Draag tijdens de installatie beschermende handschoenen.
► Start de turbopomp niet met open vacuümaansluitingen.
► Voer de mechanische installatie altijd voorafgaand aan de elektrische aansluiting uit.
► Voorkom toegang tot de hoogvacuümverbinding van de turbopomp vanaf de operatorzijde (bij-
Algemene opmerkingen voor de installatie van vacuümcomponenten
► Kies een installatielocatie die altijd de toegang tot het product en de voedingsleidingen toestaat.
► Houd de omgevingsomstandigheden in de gaten gegeven voor de gebruiksgrenzen.
► Zorg voor het hoogst mogelijke zuiverheidsniveau tijdens de montage.
► Zorg ervoor dat flenscomponenten tijdens de installatie vetvrij, stofvrij en droog zijn.
Selecteer de locatie van de installatie
1. Neem de instructies voor het transport en de locatie van de installatie in acht.
2. Zorg ervoor dat er voldoende koelopties voor de turbopomp zijn.
3. Installeer een geschikte afscherming als de magnetische velden in de omgeving de toegestane
4. Installeer een geschikte afscherming zodat de thermische stralingsuitvoer niet de toegestane
5. Neem de toegestane temperaturen voor de vacuümaansluiting in acht.
5.2 De hoogvacuümzijde aansluiten
5.2.1 Vereisten voor de dimensionering van een contraflens
Gevaar voor schade door niet-correct ontwerp van de contraflens
Een ongelijkmatigheid van de contraflens aan de operatorzijde resulteert in spanning in het vacuüm-
pomphuis, zelfs als deze correct is bevestigd. Dit kan een lekkage veroorzaken of negatieve veran-
deringen in de draai-eigenschappen.
► Houd u aan de vormtoleranties van de contraflens.
► Neem de maximale vlakheidsafwijkingen over het hele oppervlak in acht.
WAARSCHUWING
sloten.
voorbeeld door een open vacuümkamer).
niveaus overschrijden.
waarden overschrijdt, als er door het proces hoge temperaturen ontstaan.
OPMERKING
Installatie
21/60
Advertenties
Inhoudsopgave
