Inhoudsopgave
Advertenties
5.8.2
Beluchtingsventiel
5.8.3
Verwarmingsmanchet
Spergastoevoer met regelventiel
17
Fig. 13: Spergasventiel aansluiten
17
Dichtring
18
De schroef met dichtring uit de spergasaansluiting verwijderen.
Het spergasventiel met de dichtring in de spergasaansluiting installeren.
De stuurkabel van de accessoire in de overeenkomende aansluiting voor de acces-
soire op de aandrijfelektronica aansluiten en vastschroeven.
Standaard accessoire voor het spergasventiel is "accessoire A1".
De spergastoevoerleiding (bijv. inert gas) via een aansluitadapter of aan de inlaatzijde
(G 1/8") van het regelventiel aansluiten.
Spergastoevoer zonder regelventiel
De schroef met dichtring uit de spergasaansluiting verwijderen.
De spergassmoorklep met de dichtring in de spergasaansluiting installeren.
Het beluchtingsventiel van Pfeiffer Vacuum wordt gebruikt voor de automatische beluch-
ting na een uitschakeling of stroomstoring.
De toelaatbare aansluitdruk bedraagt max. 1500 hPa absoluut.
De beluchtingsschroef met dichtring uit de beluchtingsaansluiting verwijderen.
Het beluchtingsventiel met de dichtring installeren.
De stuurkabel van de accessoire in de overeenkomende aansluiting voor de acces-
soire op de aandrijfelektronica aansluiten en vastschroeven.
De standaard accessoire voor het beluchtingsventiel is "accessoire B1".
Indien nodig een gastoevoerleiding (bijv. inert gas) aan de inlaatzijde (G 1/8") van de
magneetklep installeren.
Om de einddruk sneller te bereiken kunnen de turbopompen en het recipiënt worden uit-
gestookt. Het gebruik van een verwarmingsmanchet is uitsluitend mogelijk bij pompen
met een hoogvacuümflens in edelstaaluitvoering. De uitstookduur is afhankelijk van de
verontreinigingsgraad van het proces evenals de te bereiken einddruk en moet minstens
4 uur bedragen.
18
145
Sluitschroef
145
Installatie
Spergasventiel
25
Advertenties
Inhoudsopgave
