Tabelindex
Tabelindex
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10: Vereisten voor hoogvacuümaansluiting ter plaatse
Tab. 11: Verlaging van de pompsnelheid bij gebruik van een splinterscherm of veilig-
Tab. 12: Vooraf ingestelde accessoireverbindingen met de elektronische aandrijfeen-
Tab. 13: Vooraf ingestelde accessoireverbindingen met de elektronische aandrijfeen-
Tab. 14: Status van de ethernetverbinding
Tab. 15: Kenmerken van de RS-485-interface
Tab. 16: Terminalindeling van de RS-485 aansluiting M12
Tab. 17: Statusinformatie
Tab. 18: Vooraf ingestelde accessoireverbindingen voor TC 80 en TC 110
Tab. 19: Vooraf ingestelde accessoireverbindingen voor TC 400
Tab. 20: Aanhaalmoment voor bevestiging van turbopompen
Tab. 21: Verhelpen van problemen
Tab. 22: Conversietabel: Drukeenheden
Tab. 23: Conversietabel: Eenheden voor gasdoorvoer
Tab. 24: Technische gegevens HiCube 80 Neo
Tab. 25: Technische gegevens HiCube 300 Neo
Tab. 26: Technische gegevens HiCube 80 Neo
Tab. 27: Technische gegevens HiCube 300 Neo
Tab. 28: Technische gegevens HiCube 450 Neo
Tab. 29: Technische gegevens HiCube 800 Neo
Tab. 30: Materialen die in contact komen met de procesmedia
Tab. 31: Afmetingen HiCube 80 Neo
Tab. 32: Afmetingen HiCube 300 Neo
Tab. 33: Afmetingen HiCube 80 Neo
Tab. 34: Afmetingen HiCube 300 Neo
Tab. 35: Afmetingen HiCube 350 Neo
Tab. 36: Afmetingen HiCube 450 Neo
Tab. 37: Afmetingen HiCube 700 Neo
6/84
Labels op het product
Gebruikte afkortingen in dit document
Gebruiksgrenzen van de HiCube Neo
Symbolen en kleuren van de status- en componentenpictogrammen
HiCube Neo desktopmodel | Componentconfiguraties
HiCube Neo desktopmodel | Accessoires
HiCube Neo vrijstaand model | Componentconfiguraties
HiCube Neo vrijstaand model | Accessoires
Vereisten voor hoogvacuümaansluiting ter plaatse
heidsscherm
heid TC 80 en TC 110
heid TC 400
10
12
17
19
20
20
21
22
28
28
29
37
38
40
40
40
45
59
59
60
71
76
76
77
77
78
78
78
79
79
79
80
80
80
80
81
81