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Inhoudsopgave - Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 C Gebruiksaanwijzing

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2
1
Bij deze handleiding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Geldigheid. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1
Eveneens geldige documenten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Voorschriften . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1
Veiligheidsvoorschriften . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2
Pictogrammen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3
Aanwijzing in tekst. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4
Afkortingen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5
Gebruikte symbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2
Veiligheid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Veiligheidsmaatregelen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 Beschermingsmiddelen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Gebruik in overeenstemming met het beoogde doel . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3
Transport en opslag . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1 Transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.2 Opslag. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4
Productbeschrijving . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 Productidentificatie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1
Pompsoorten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.2
Pompkenmerken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.3
Varianten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.4
Leveringsomvang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2 Werkingsprincipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.1
Koeling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.2
Rotorlager . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.3
Aandrijving . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3 Toepassingsgebied . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5
Installatie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.1 Voorbereidende werkzaamheden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2 Opstelling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2.1
Aardschokbestendigheid. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2.2
Splinterscherm of beschermroosters gebruiken . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2.3
Trillingdempers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3 Inbouwposities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.4 Hoogvacuümzijde aansluiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.4.1
Installatie van ISO-K-flens met ISO-K-flens . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.4.2
Installatie van ISO-K-flens met ISO-F-flens . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.4.3
Installatie van ISO-F-flens met ISO-F-flens . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.4.4
Installatie van CF- flenzen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.5 Voorvacuümzijde aansluiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6 Aansluitingen op de turbopomp . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.1
Aandrijfelektronica. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.2
Aarde. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.3
Elektrische toevoer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.4
Stekker afstandsbediening . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.7 Aansluiting van accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.7.1
Luchtkoeling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.2
Beluchtingsventiel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.3
Spergasaansluiting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.4
Verwarmingsmanchet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.5
Waterkoeling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

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