Advertenties
Foutmeldingen nr.
Pfeiffer-
Display
protocol
E43
E149
E49
E166
E50
E160
E51
E161
E52
E162
E54
E163
E56
E165
E60
E001
E61
E002
E62
E006
96
Weergegeven melding Beschrijving en mogelijke oplossing
Emissie uit (p2 te hoog)
Uitgangsspanning van
de externe
drukmeetbuis te hoog.
Uitgangsspanning van
de externe
drukmeetbuis te klein.
Karakteristieke
impedantie van de
externe drukmeetbuis
te klein.
Inlaatdruk p2 te laag!
Voorvacuümdruk p1 te
laag!
p1 > 10mbar na
opstarten
TMP frequentie te groot
(E001)!
TMP voeding defect
(E002)!
TMP aanlooptijd fout
(E006)!
De emissie wordt tijdens het normale bedrijf van de
lekdetector uitgeschakeld wanneer de druk
•
in CF bij p2 > (drukdrempel CF + 5mbar) of
•
in TFL bij p2 > (drukdrempel TFL + 1mbar) of
•
in TFH bij p2 > (drukdrempel TFH + 0.1mbar)
•
Sensor van het drukmeetpunt defect
•
Elektronica drukmeetpunt defect
•
Controleer de kabel naar het drukmeetpunt
•
Sensor van het drukmeetpunt gestelsluiting
•
Elektronica drukmeetpunt defect
De karakteristieke impedantie van het ext. drukmeetpunt is
te klein.
•
Controleer de kabel naar het drukmeetpunt
•
Fout ext. drukmeetpunt gebruikt
•
Elektronica drukmeetpunt foutief
•
Ingang kortgesloten
De uitgangsspanning van het drukmeetpunt P2 is te klein
•
Controleer de kabel naar de Pirani-sensor
•
Sensor Pirani defect
•
Sensorelektronica I/O kaart defect
De uitgangsspanning van het drukmeetpunt P1 is te klein
•
Controleer de kabel naar de Pirani-sensor
•
Sensor Pirani defect
•
Sensorelektronica I/O kaart defect
De voorvacuümdruk P1 is 5 min. na opstarten > 10 mbar
•
Voorpomp defect
•
Lek in het vacuümsysteem
•
Ventiel V1 opent niet
Nominaal toerental van 1500 Hz met 5% overschreden.
•
Controleer verbindingskabel, start de lekdetector
opnieuw
•
TC 110 defect
Fout in de voeding TC 110 gedetecteerd.
•
Voeding defect
Toerental van de SplitFlow 80 is 15 min. na start onder het
schakelmoment van het toerental < 1200 Hz.
•
Turbopomp lagerschade
•
TC 110 defect
Advertenties
