3.1
Meetsysteem
20
Het meetsysteem bestaat in principe uit de volgende componenten:
•
een testaansluiting (test)
•
een voorvacuümpomp (PM1)
•
een turbopomp (TPM deel A en B)
•
eigen ventielen (V1 ... V6)
•
een heliumsensor (He)
•
een intern testlek (test leak)
•
Druksensoren (P1, P2)
•
een gasaansluiting voor ventilatie of voor een snuffelsonde (G1)
•
optioneel een externe voorvacuümpomp (PM2)
Abb. 3-2
Het testitem wordt met een flens aan de testaansluiting verbonden. De ventielen
V1, V2, V3 en V4 verbinden het testitem en de heliumsensor, zonder dat daarvoor
een ongeoorloogde bedrijfstoestand ontstaat.
Ter kalibratie wordt met het ventiel V5 een testlek bijgeschakeld.
Het ventiel V6 dient voor de ventilatie, zodat het testitem weer verwijderd kan
worden. Deze wordt ook als snuffelaansluiting gebruikt.
Alle ventielen openen elektromagnetisch en sluiten met veerkracht.
De meetbuis P1 meet de voorvacuümdruk, P2 de druk bij de testaansluiting.