Inhoudsopgave
Advertenties
Substantie/ sensor
PH3
Fosfine (3 El.)
PH3
Fosfine (2 El.)
SF6
Zwavelhexafluoride
SiH4
Silaan
SO2
Zwaveldioxide
TEOS
Tetraethyl-orthosilicaat
TMB
Trimethylboraat
TMP
Trimethylfosfiet
TMB
Trimethyl borate
TMP
Trimethyl phosphite
Opmerkingen: 1) Speciale toepassing
Satellite XT R-versie
Onderdeelnr.
Nominale
Sensor
Bereik
9602-6101
0 ...
1.00
9602-6100
0 ...
1.00
9602-9710
0 ...
0.500
9602-6300
0 ...
50.0
9602-5900
0 ...
25.0
9602-7500
0 ...
100
9602-7510
0 ...
500
9602-7800
0 ...
30.0
9602-7510
0 ...
500
9602-7800
0 ...
30.0
2) Speciaal bereik
3) Pyrolyzermodule vereist voor detectie
Meer gassen en bereiken op aanvraag
Referentie-informatie - Hoofdstuk 8
Eenheid
Opm.
ppm
ppm
1)
% vol.
3)
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
Stoffilter
toegelaten
ja
ja
geen
gegevens
ja
ja
neen
neen
ja
No
Yes
8-2
Advertenties
Inhoudsopgave
