Installatie
Beluchtingsventiel
Voorvacuümzijde
aansluiten
18
Het beluchtingsventiel van Pfeiffer Vacuum wordt gebruikt voor de automatische beluch-
ting na een uitschakeling of stroomstoring.
De toelaatbare aansluitdruk bedraagt max. 150 kPa absoluut.
Fig. 6:
Beluchtingsventiel 24 aansluiten
De stuurkabel van de accessoire in de overeenkomende aansluiting voor de acces-
soire op de TM 700 aansluiten en vastschroeven.
De standaard accessoire voor het beluchtingsventiel is "accessoire B1".
Indien nodig een gastoevoerleiding (bijv. inert gas) aan de inlaatzijde (G 1/8") van de
magneetklep installeren.
Aanbeveling: Als voorpomp een droge compressie vacuümpomp of draaischuifpomp
uit het programma van Pfeiffer Vacuum gebruiken. De voorpomp moet een vacuümdruk
totstandbrengen van ≤ 8 hPa.
Schade voor de gezondheid door giftige gassen
Procesgassen kunnen schadelijk zijn voor de gezondheid en milieuverontreinigend zijn.
De gasemissie van de voorpomp veilig afvoeren!
Alle veiligheidsvoorschriften van de gasfabrikant opvolgen.
510
510b
Fig. 7:
Voorpomp aansluiten
510 Voorvacuümaansluiting
510a Voorvacuümpomp
24
WAARSCHUWING
510a
510.1
510 .2
510b
Relaiskast
510.1 Centreerring
510.2
Klemring