Inhoudsopgave
Advertenties
Gevaren tijdens installatie
GEVAAR
Levensgevaar door elektrische schok
Voedingseenheden die niet gespecificeerd zijn of niet zijn goedgekeurd kunnen tot ernstig lichamelijk
letsel of de dood leiden.
► Zorg ervoor dat de voedingseenheid aan de vereisten voor dubbele isolatie tussen de netin-
gangsspanning en -uitgangsspanning voldoet, in overeenstemming met IEC 61010-1
IEC 60950-1 en IEC 62368-1.
► Zorg ervoor dat de voedingseenheid aan de vereisten voldoet volgens IEC 61010-1 IEC 60950-1
en IEC 62368-1.
► Gebruik, indien mogelijk, de originele voedingseenheden of alleen voedingseenheden die aan de
geldende veiligheidsvoorschriften voldoen.
WAARSCHUWING
Levensgevaar door ontbrekend netuitschakelapparaat
De vacuümpomp en elektronische aandrijfeenheid zijn niet uitgerust met een stroomonderbrekings-
apparaat (hoofdschakelaar).
► Installeer een stroomonderbrekingsapparaat conform SEMI-S2.
► Installeer een contactverbreker met een onderbrekingswaarde van minimaal 10.000 A.
WAARSCHUWING
Gevaar voor letsel door onjuiste installatie
Er kunnen gevaarlijke situaties ontstaan door een onveilige of onjuiste installatie.
► Voer niet uw eigen conversies of aanpassingen op de eenheid uit.
► Zorg voor de integratie in een nooduit-veiligheidscircuit.
WAARSCHUWING
Gevaar voor snijwonden door bewegende onderdelen met scherpe randen bij het reiken in de
open hoogvacuümflens
Met een open hoogvacuümflens is toegang tot onderdelen met scherpe randen mogelijk. Een hand-
matige rotatie van de rotor vergroot het gevaar in deze situatie. Er bestaat het risico op snijwonden
tot en met afgesneden lichaamsdelen (bijvoorbeeld vingertoppen). Er bestaat het risico dat haren en
losse kleding naar binnen worden getrokken. Als er voorwerpen in de turbopomp vallen, wordt de
pomp onherstelbaar beschadigd als deze weer wordt bediend.
► Verwijder alleen de originele beschermkappen direct voordat de hoogvacuümflens wordt aange-
sloten.
► Kom niet met uw handen in de hoogvacuümaansluiting.
► Draag tijdens de installatie beschermende handschoenen.
► Start de turbopomp niet met open vacuümaansluitingen.
► Voer de mechanische installatie altijd voorafgaand aan de elektrische aansluiting uit.
► Voorkom toegang tot de hoogvacuümverbinding van de turbopomp vanaf de operatorzijde (bij-
voorbeeld door een open vacuümkamer).
WAARSCHUWING
Levensgevaar door vergiftiging wanneer er toxische procesmedia uit beschadigde aansluitin-
gen lekken.
Een plotselinge verdraaiing van de turbopomp in het geval van een storing leidt tot het accelereren
van fittingen. Er bestaat een kans op beschadiging van aansluitingen ter plaatse (bijv., voorvacuüm-
leiding), wat tot lekkages leidt. Dit resulteert in het lekken van procesmedia. Bij processen met toxi-
sche media, bestaat er gevaar voor letsel en levensgevaar door vergiftiging.
► Houd massa's die verbonden zijn met de turbopomp zo laag mogelijk.
► Gebruik indien nodig flexibele leidingen om op de turbopomp aan te sluiten.
Veiligheid
11/66
Advertenties
Inhoudsopgave
