Inhoudsopgave
Advertenties
Diagnostische
Beschrijving
berichten
Under Range
(meteroutput < 0,025 V)
Geeft aan dat de interne zekering van de meter is gesprongen of dat er een fout is met de
meter. De zekering moet worden vervangen als omschreven in de AIGX-
instructiehandleiding en als de fout blijft bestaan, moet de elektronicamodule worden
vervangen.
Initialising
Geeft aan dat de meter een emissiestroom instelt. Dit duurt normaal gesproken ongeveer
5 seconden.
4.10.9
Meter met breed bereik (WRG)
Opmerking:
Voor een gedetailleerde omschrijving en instructies betreffende het gebruik van de WRG, wordt
verwezen naar de instructiehandleiding (D14701885).
De WRG is een gecombineerde Pirani- en omgekeerde magnetronmeter in één enkele compacte unit. De WRG meet
druk van atmosferische druk tot zo laag als 1 x 10
log-/lineaire output in het bereik van 2 - 10 V d.c. Het Pirani-gedeelte van de meter meet van atmosferische druk
-3
tot 1 x 10
mbar (7,5 x 10
-10
7,5 x 10
Torr) meet. Output van beide sensors wordt gebruikt voor het bepalen van de druk tussen 1 x 10
-3
-3
1 x 10
mbar (7,5 x 10
en 7,5 x 10
WRG heeft menu-opties naast de getoonde opties. (zie de standaard opmaakopties (alle meters)
(zie
Tabel 31
en
Figuur
26).
Menu-optie
Beschrijving
Calibrate
Hiermee kan de gebruiker de atmosferische en vacuümafstelling uitvoeren op de WRG.
Sluit de WRG aan op TIC en laat het gedurende tenminste 10 minuten draaien bij
atmosferische druk.
'Scroll' naar 'Calibrate' en druk op 'Selecteren'.
'Command Sent' wordt gedurende 1 s weergegeven om te bevestigen dat de instructie is
uitgevoerd.
De WRG voert automatisch een vacuüminstelling voor de Pirani-sensor uit bij elke keer dat
deze onder 1 x 10
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
Edwards en het Edwards logo zijn handelsmerken van Edwards Limited.
Tabel 30 – Fout-/diagnostische monitor AIGX (vervolg)
-9
mbar (7,5 x 10
-3
Torr), terwijl de omgekeerde magnetron van 1 x 10
-4
Torr).
Tabel 31 – Opmaakopties WRG
-4
mbar (7,5 x 10
Figuur 26 – Opmaakscherm meter WRG
-10
Torr). De WRG is gasafhankelijk en heeft een
-2
tot 1 x 10
-5
Torr) wordt gepompt.
D39722886 Issue N
-9
-3
mbar (7,5 x 10
tot
-2
en
Hoofdstuk
4.10.1)
Pagina 39
Advertenties
Inhoudsopgave
