Download Inhoudsopgave Inhoud Print deze pagina

Regeling Actieve Omgekeerde Magnetronmeter (Aim); Opmaakopties Asg; Fout- En Diagnostische Monitor Asg - Edwards TIC Turbo- & instrumentregelaar 100 W Gebruiksaanwijzing

Inhoudsopgave

Advertenties

D39722886 Issue N
Menu-optie
Beschrijving
Range
Geeft volledige schaal weer van beschikbare meteropties.
Keuze uit: 1000 of 2000
Set zero
Hiermee kan de gebruiker de meter op nul stellen.
Verlaag de systeemdruk naar 2 x 10
(1500 Torr) ASG of 1 x 10
ASG.
'Scroll' naar 'Set zero' en druk op 'Selecteren'.
'Command Sent' wordt gedurende 1 s weergegeven om te bevestigen dat de instructie is
uitgevoerd.
Display
Geeft opties voor drukweergave weer.
Keuze uit:
Float (zweven - mantisse en exponent).
Fixed (vast - nummer tot 1 plaats achter de komma).
Zie
Tabel 27
voor de fout- en diagnostische informatie voor de ASG.
Diagnostische
Beschrijving
berichten
Over Range
(meteroutput > 11 V)
Geeft aan dat de gemeten gasdruk buiten het bereik van de meter valt, of dat er een fout
met de meter is.
Verwijder het foutbericht, verlaag de procesdruk tot binnen het bereik van de meter,
scroll naar de weergaveregel van de meter en druk op 'Cyclus'. Als de meter geen
drukwaarde geeft, moet het worden vervangen.
ASG Cant Zero
Geeft aan dat de meteroutput buiten het bereik van -100 mV tot +100 mV ligt.
De meest waarschijnlijke oorzaak van deze fout ligt bij het proberen om de meter bij een
te hoge druk op nul te zetten of bij een meterfout.
Probeer de meter nogmaals op nul te zetten en als de fout blijft bestaan, moet de meter
worden vervangen.
4.10.7

Regeling actieve omgekeerde magnetronmeter (AIM)

Opmerking:
Deze paragraaf behandelt zowel standaard (AIM-S) als lineaire (AIM-X) outputmeters, inclusief versies
met laag magnetisch veld (-SL) of -XL) en droogbare versies (type DN40CF).
Opmerking:
Voor een gedetailleerde specificatie en instructies betreffende het gebruik van de AIM-S- en AIM-X-
meters, wordt verwezen naar de aangewezen instructiehandleiding (D14641885 & D14661880).
Pagina 36
Tabel 26 – Opmaakopties ASG
-2
mbar (7,5 x 10
Figuur 24 – Opmaakscherm meter ASG
Tabel 27 – Fout- en diagnostische monitor ASG
Edwards en het Edwards logo zijn handelsmerken van Edwards Limited.
-2
-2
mbar (1,5 x 10
Torr) of lager voor de 2000 mbar
-3
Torr) of lager voor de 1000 mbar (750 Torr)
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.

Advertenties

Inhoudsopgave
loading

Gerelateerde Producten voor Edwards TIC Turbo- & instrumentregelaar 100 W

Deze handleiding is ook geschikt voor:

Tic turbo- & instrumentregelaar 200 wD39721000D39722000

Inhoudsopgave