Inhoudsopgave
Advertenties
Opmerking:
Voordat APG wordt gebruikt en periodiek daarna, moet atmosferische en vacuümkalibratie worden
uitgevoerd overeenkomstig de aanwijzingen die worden weergegeven in de instructiehandleiding
(D02171885, D02371880 en D02391880).
De APG wordt ingesteld volgens de standaardinstructies voor meteropmaak, die worden getoond in
hierboven.
Er zijn geen aanvullende opmaakopties voor APG. (zie de standaard opmaakopties (alle meters)
Er zijn geen specifieke fout-/diagnostische berichten voor APG. (zie
Diagnostische
Beschrijving
berichten
Over Range
(meteroutput > 11 V)
Geeft aan dat de gemeten gasdruk buiten het bereik van de meter valt, of dat er een fout
met de meter is.
Verwijder het foutbericht, verlaag de procesdruk tot binnen het bereik van de meter,
'scroll' naar de weergaveregel van de meter en druk op 'Cyclus'. Als de meter geen
drukwaarde geeft, moet het worden vervangen.
Dit treedt hoogstwaarschijnlijk op bij gassen met een laag moleculair gewicht, zoals
Helium.
Under Range
(meteroutput < 1,8 V)
Geeft aan dat er een kalibratiefout is of dat de meter kapot is.
Kalibreer de meter als omschreven in de instructiehandleiding. Als de fout blijft bestaan,
vervangt u de meter.
4.10.4
Actieve lineaire Pirani-meter (APGX)
De actieve lineaire Pirani-meter (APGX) is een gasafhankelijke hogedrukmeter met warmtegeleiding. Het meetbereik
van de APGX-M en de corrosiebestendige APGX-MP is 100 mbar tot 10
de APGX-L is 10 mbar tot 10
gereduceerde nauwkeurigheid.
De lineaire convectiemeters (APGX-H) zijn gasafhankelijke hogedrukmeters met warmtegeleiding en
convectiemeters. Het meetbereik van de APGX-H is 1333 tot 3 x 10
hoger dan 10 mbar vindt drukmeting via convectie plaats, wat zorgt voor een consistente gevoeligheid en
nauwkeurigheid tot de bovenkant van het meetbereik.
APG(X)'s zijn permanent ingeschakeld en geven daarom een output wanneer ze worden herkend.
De APGX wordt ingesteld volgens de standaardinstructies voor meteropmaak die worden getoond in
(zie
Figuur
23).
APGX heeft menuopties naast de getoonde opties. (zie de standaard opmaakopties (alle meters)
(zie
Tabel
22).
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
Edwards en het Edwards logo zijn handelsmerken van Edwards Limited.
Tabel 21 – Fout-/diagnostische monitor van APG
-4
-5
mbar (7,5 tot 7,5 x 10
Tabel
21).
-3
mbar (75 tot 7,5 x 10
Torr). Alle meters geven druk aan tot 1000 mbar (750 Torr) bij
-4
mbar (1000 tot 2,3 x 10
D39722886 Issue N
Hoofdstuk 4.10.1
Hoofdstuk
4.10.1).
-4
Torr); het bereik van
-4
Torr). Bij een druk van
Hoofdstuk
4.10.1.
Hoofdstuk
4.10.1)
Pagina 33
Advertenties
Inhoudsopgave
