Inhoudsopgave
Advertenties
Bijgewerkte actieve omgekeerde magnetronmeters (AIM) zijn gasafhankelijke ionisatiemeters met koude kathode,
die druk meten in het bereik van 1 x 10
varianten, die standaard (AIM-S) en lineaire (AIM-X) output bieden, varianten met een laag extern magnetisch veld
(AIM-SL en AIM-XL) voor gebruik op gevoelige wetenschappelijke instrumenten en speciale droogbare buizen voor
gebruik bij UHV-toepassingen.
Er zijn geen aanvullende opmaakopties voor AIM. (zie de standaard opmaakopties (alle meters)
Zie
Tabel 28
voor de fout- en diagnostische informatie voor de AIM-meter.
Diagnostische
Beschrijving
berichten
Over Range
(meteroutput > 11 V)
Geeft aan dat de gemeten gasdruk buiten het bereik van de meter ligt of dat het
verkeerde gastype is geselecteerd.
Controleer dat het geselecteerde gas juist is, schakel de meter uit, verwijder de fout,
verlaag de procesdruk naar binnen het bereik van de meter en druk op 'Cyclus'.
Als de fout blijft bestaan, is er een fout met de meter en de elektronicamodule moet
worden vervangen.
Under Range
(meteroutput < 0,025 V)
Geeft aan dat er een fout is met de meter of de kabel. Vervang de kabel en als de fout
blijft bestaan, moet de elektronicamodule worden vervangen.
Striking
Geeft aan dat de meter probeert aan te slaan.
TIC gaat tot 15 minuten verder in deze modus.
Not Struck
Geeft aan dat de meter niet binnen 15 minuten is aangeslagen.
Dit komt hoogstwaarschijnlijk doordat de meterbuis verontreinigd is geraakt.
De meterbuis moet worden gecontroleerd op tekenen van verontreiniging of vuil.
Als de anode en de kathode niet helder zijn, moet de meter worden gereinigd of de
elektrodes worden vervangen (D14545802 of D14661802) als omschreven in de
AIM-instructiehandleiding.
4.10.8
Regeling actieve ionmeter (AIGX-S)
Opmerking:
TIC ondersteunt de AIGX-D-variant van het AIGX-bereik niet.
Opmerking:
Voor een gedetailleerde specificatie en instructies betreffende het gebruik van de AIGX, wordt
verwezen naar de instructiehandleiding (D04850880).
De actieve ionmeter (AIGX-S) is een volledig geïntegreerd actief instrument, met een meetbereik van 6,6 x 10
-10
-2
6,6 x 10
mbar (5 x 10
van 0 tot 10 V d.c. De AIGX-S wordt geleverd met twee gloeidraden, die handmatig kunnen worden geselecteerd bij
de kop van de meter. Voor een maximale levensduur van de gloeidraden, bevat de meter automatische schakeling
van emissiestroom en stopzetting bij hoge druk. De enige functies die door de gebruiker kunnen worden geselecteerd,
zijn een instelpunt en ontgasvoorziening.
De meter bevat tevens een uitgebreid bereik van diagnostische outputs, die worden weergegeven op TIC.
AIGX heeft menu-opties naast de getoonde opties. (zie de standaard opmaakopties (alle meters)
(zie
Tabel 29
en
Figuur
25).
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
Edwards en het Edwards logo zijn handelsmerken van Edwards Limited.
-2
-9
tot 1 x 10
Tabel 28 – Fout-/diagnostische monitor AIM
-10
tot 5 x 10
Torr). De meter heeft een lineaire output van 1 Volt/decaden in het bereik
-3
mbar (7,5 x 10
tot 7,5 x 10
D39722886 Issue N
-10
Torr). Er bestaan een aantal
Hoofdstuk
4.10.1).
Hoofdstuk
Pagina 37
-2
tot
4.10.1)
Advertenties
Inhoudsopgave
