Inhoudsopgave
Advertenties
Technische gegevens en afmetingen
14 Technische gegevens en afmetingen
14.1 Algemeen
Dit onderdeel beschrijft de basis voor de technische gegevens van de turbopompen van Pfeiffer Vacu-
um.
● Specificaties overeenkomstig PNEUROP comité PN5
● ISO 27892 2010:"Vacuümtechnologie - Turbomoleculaire pompen - Meting van snel uitschakel-
● ISO 21360 2012: "Vacuümtechnologie - Standaardmethoden voor het meten van de prestaties
● ISO 21360 2018: "Vacuümtechnologie - Standaardmethoden voor het meten van de prestaties
● Ultieme druk met de testkoepel na 48 uur droogwarmtijd
● Gasdoorvoer met waterkoeling; voorpomp = schottenpomp (10 m
● Koelwaterverbruik bij maximale gasdoorvoer, koelwatertemperatuur 25 °C
● Integrale leksnelheid met 100 % heliumconcentratie, 10 s meettijd
● Geluidsdrukniveau op afstand tot vacuümpomp = 1 m
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 15:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 16:
14.2 Technische gegevens
Typeaanduiding geavanceerd
Bestelnummer
Aansluitflens (in)
Aansluitflens (uitgang)
Flens (tussenpompen "H1")
Einddruk
Compressieverhouding voor Ar
56/62
Technische gegevens
Maximumwaarden verwijzen uitsluitend naar de invoer als enkele belasting.
aanhaalmoment"
van de vacuümpomp - Deel 1: Algemene beschrijving"
van de vacuümpomp - Deel 4: Turbomoleculaire vacuümpompen"
mbar
1
1000
0,01
1
10
1,33
Conversietabel: Drukeenheden
mbar l/s
1
3
10
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Conversietabel: Eenheden voor gasdoorvoer
bar
Pa
1 · 10
-3
100
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
100
1 · 10
-3
0,01
1000
-3
133,32
1,33 · 10
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
SplitFlow™ 50 met TC
110
PM P04 340
DN 63 ISO-K
G ¼"
M5
< 4 · 10
2,1 · 10
3
/u)
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
0,75
7,5
-2
1,27 · 10
1
0,76
SplitFlow™ 50 met
TC 110
PM P04 342
DN 63 CF-F
G ¼"
M5
-7
hPa
< 4 · 10
10
2,1 · 10
-3
atm cm
3
/s
0,987
9,87
-2
1,67 · 10
1,32
1
-7
hPa
10
Advertenties
Inhoudsopgave
