Inhoudsopgave
Advertenties
4.2
Werkingsprincipe
23
4.2.1
Koeling
4.2.2
Rotorlager
4.2.3
Aandrijving
De turbopomp HiPace 300 M vormt samen met de aandrijf- en magneetlagerelektronica
TM 700 (hierna "aandrijfelektronica" genoemd) een eenheid. Voor de stroomvoorziening
mogen uitsluitend netvoedingen van Pfeiffer Vacuum worden gebruikt (b.v. TPS, OPS of
DCU).
4
5
3
Fig. 2:
HiPace 300 M met TM 700
3
Pomponderdeel
3a
aarde-aansluiting
4
Pomphuis
● Waterkoeling
● Convectiekoeling
● Luchtkoeling (optioneel)
De aandrijfelektronica verlaagt het aandrijfvermogen bij overtemperatuur automatisch.
Afhankelijk van het toepassingsgebied en het type pomp HiPace zijn er verschillende
koelsystemen verkrijgbaar.
Actief-magnetisch gelagerde turbopomp
● Hoogvacümzijde: elektromagnetische radiaallagers
● Voorvacuümzijde: elektromagnetische radiaal- en axiaallagers
Actieve magneetlagers zijn in principe onverslijtbaar en maken smeermiddelvrije vacuü-
processen mogelijk. Om aanrakingen tussen rotor en stator te vermijden zijn drooglo-
pende vanglagers geïnstalleerd.
Aandrijfelektronica TM 700
24
83
81
15.5
5
Tussenstuk
15.5 Koelwateraansluiting
23
Aandrijfelektronica TM 700
Productbeschrijving
3e
24
Beluchtingsklep
81
Spergasaansluiting
83
Voorvacuümflens
11
Advertenties
Inhoudsopgave
