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Lc 滤波器
驱动
测量速度
测头类型
仪器类型
校准
参数
公差限制
参数设置
Mahr GmbH, MarSurf PS 10
标准
短
0.8 mm
Lc
mm
打开
关闭
1.0 mm/s
0.5 mm/s
350 µm
150 µm
100 µm
MarSurf PS 10
MarSurf PS 10 C2
Ra
Rq
...
Ra 0.000 0.000
...
C1
µm
C2
µm
C1 / C2
Rz / 10
CREF
%
C
µm
C
µm
C
µm
标准截止波长（根据 ISO、JIS、ANSI/ASME）
。
下一最短截止波长。
固定截止波长。
截止波长自由定义。
MarSurf PS 10 驱动单元打开。
MarSurf PS 10 驱动单元关闭（例如测量对象被
第三方驱动移动单元移动时）。
第三方驱动必须设置为所选测量速度。
测量单元在测量对象上移动测头时使用的测
量速度。
所用测头的测量范围。
仪器类型（MarSurf PS 10 或 MarSurf PS 10 C2
）。
校准测头（见第 3 节）。
将对激活的参数进行评定。
每个参数的上限和下限。
评定 RPc 和 RSm 的上限截止线 C1 和下限截止
线 C2。
评定 RSm 的垂直计数阈值。
评定材料率的参考线 Rmr 或 tp。
三个可能材料率值的截止线 Rmr 或 tp。
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