RK=_ÉÇáÉåáåÖ
1
Om het stadium te verplaatsen naar een opge-
slagen positie
a
b
2
Klik op Undo Stage Goto om de laatste bewe-
ging van het stadium te annuleren.
5.5. Quad-modus gebruiken
Procedure
1
Kies Quad uit het Scanning-menu.
Let op
Het beeld wordt verdeeld in vier kwadran-
ten en een anker markeert het gekozen
kwadrant.
2
Wijs een BSD-detectortype toe aan ieder
kwadrant.
•
•
•
•
Let op
De vier BSD-detectorbeelden worden ge-
toond op het beeldscherm en kunnen ge-
lijktijdig worden opgenomen met één scan.
3
Pas helderheid en contrast voor aan voor de
kwadrant 1
PQ=î~å=QQ
Kies de positie
Dubbelklik op de naam van de positie.
Sleep een anker naar het eerste kwa-
drant, kies BSD4 A in het paneel SEM
Control/Detectors-tab en kies seg-
menten voor BSD4 (bijvoorbeeld +S4 /
-S2) in het paneel BSD Control.
Sleep het anker naar het tweede kwa-
drant, kies BSD4 B en kies een BSD-
modus (bijvoorbeeld +S1 / -S3) voor
BSD4 B.
Sleep het anker naar het derde kwa-
drant, kies BSD4 C en kies een BSD-
modus (bijvoorbeeld +S2 / -S4) voor
BSD4 C.
Sleep het anker naar het vierde kwa-
drant, kies BSD4 D en kies een BSD-
modus (bijvoorbeeld +S3 / -S1) voor
BSD4 D.
dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN