Inhoudsopgave
Advertenties
3.2.1. BSD-modi
De BSD4 detector biedt twee bedieningsmodi (BSD):
•
Composition (BSD:COMPO):
Elektronen van zware elementen (hoog atoomnummer) worden sterker teruggekaatst dan
licht elementen (laag atoomnummer), Daarom verschijnen ze helderder op het beeld.
Zo kunnen teruggekaatste elektronen worden gebruikt om het contrast te detecteren tussen
gebieden met verschillende chemische composities.
Figuur 1.4: Materiaalcontrast
•
Surface topography (BSD:TOPO):
Markeert veranderingen van de hoek van het monsteroppervlak. Topografisch contrast treedt
op omdat het aantal en de trajecten van teruggekaatste elektronen en het aantal secundaire
elektronen afhankelijk is van de invalshoek tussen de straal en het monsteroppervlak.
Figuur 1.5: Topografisch contrast
dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN
PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ
=NR=î~å=QQ
Advertenties
Inhoudsopgave
