Samenvatting van Inhoud voor Zeiss BSD4
- Pagina 1 Instructiehandleiding BSD4-detector Pneumatisch aangedreven detector voor veldemissie scanning elektronenmicroscopen...
- Pagina 2 Carl Zeiss Microscopy. Ook mogen ze niet worden gekopieerd of op andere wijze worden gedupliceerd, zelfs niet voor intern gebruik door de klant, afgezien van één back-up-kopie om veiligheidsredenen. Vanwege een doorlopend verbeteringsproces...
-
Pagina 3: Inhoudsopgave
5.2.3.2. Handmatig instellen van het regelbereik ............... 28 5.2.3.3. Opslaan en weer oproepen van segmentinstellingen ........... 29 5.3. Stoppen van de BSD4 detector in geval van nood ........31 5.3.1. Stoppen van de bewegende detector ..............31 5.4. Opslaan en weer oproepen van stadiumcoördinaten (licentie: STAGECO) ..32 5.4.1. - Pagina 4 fåÜçìÇ 6.1. Contactalarm resetten ..................39 6.2. Smeren van de staaf ..................40 6.3. Probleemoplossing ..................41 7. De-installatie en afvoer ................41 8. Afkortingen ....................42 9. Richtlijnen en normen ................42 10. Register ..................... 43 dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=åäMN...
-
Pagina 5: Over Deze Handleiding
1. Over deze handleiding Deze instructiehandleiding maakt deel uit van de BSD4 detector. Lees de instructies zorgvuldig door. Houd de instructiehandleiding in de buurt van de BSD4 de- tector en overhandig het aan toekomstige eigenaars van de FESEM. Deze instructiehandleiding is ontworpen voor gebruikers die door een geautoriseerde expert van ZEISS zijn getraind de FESEM te bedienen, waarin de BSD4 detector ingebouwd is. - Pagina 6 Definitie van begrippen ® Besturingssoftware voor veldemissie scanning elektronenmicroscopen SmartSEM van ZEISS. Vertegenwoordiger van Speciaal opgeleide servicevakman, personeel van ZEISS of geautori- ZEISS seerd servicepartner van ZEISS. BSD4 detector Pneumatisch aangedreven detector voor het detecteren van terugge- kaatste elektronen. S=î~å=QQ...
-
Pagina 7: Veiligheidsoverzicht
De BSD4 detector wordt gebruikt voor het detecteren van teruggekaatste elektronen. De BSD4 detector is geschikt voor het produceren van hoogwaardige materiaalcontrast- (COM- PO) en topografische (TOPO) contrastbeelden. Het is niet toegestaan de BSD4 detector voor andere doeleinden te gebruiken; dit kan gevaarlijk zijn. dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN... -
Pagina 8: Preventie Van Ongevallen En Van Onjuist Gebruik
De garantie kan ongeldig worden. Volg de instructies die in deze instructiehandleiding worden vermeld. BELANGRIJK Alle zich voordoende onderhouds-, service en reparatiewerkzaamheden die niet in deze in- structiehandleiding worden vermeld mogen uitsluitend worden uitgevoerd door een geau- toriseerde vertegenwoordiger van ZEISS. U=î~å=QQ dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN... -
Pagina 9: Veiligheidsoverzicht
OPGELET Kans op verbrijzeling. De BSD4 detector wordt pneumatisch aangedreven. Houd uw handen niet in de verplaatsingsbaan terwijl de BSD4 detector geplaatst wordt. OPGELET TEM-olie 300 kan de huid en ogen irriteren. Vermijd contact met de huid. Draag geschikte handschoenen. -
Pagina 10: Gevaren Niet Gerelateerd Aan Persoonlijk Letsel
2.3.2. Gevaren niet gerelateerd aan persoonlijk letsel OPGELET Kans op beschadiging van de BSD4 detector als het stadium wordt verplaatst. Macro's kunnen de beweging van het stadium beïnvloeden. Voer geen door de gebruiker gedefinieerde macro's uit die de veilige beweging van het sta- dium belemmeren. -
Pagina 11: Stop-Knop
OK=sÉáäáÖÜÉáÇëçîÉêòáÅÜí 2.3.3. STOP-knop Om materiële schade te voorkomen kan de BSD4 detec- op elke positie worden gestopt als hij beweegt. Hiervoor is een BSD STOP-knop geïntegreerd in het paneel van de BSD Control. dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN =NN=î~å=QQ... -
Pagina 12: Beschrijving
PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ 3. Beschrijving 3.1. Overzicht Aanpassingsknop voor X-as Staaf Aanpassingsknop voor Z-as Elektronicabox Aanpassingsknop voor Y-as Figuur 1.1: Componenten van de BSD4 detector NO=î~å=QQ dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN... -
Pagina 13: Detectorkop
PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ 3.1.1. Detectorkop Detectorkop Onderaanzicht op de diodes (5 segmenten) Figuur 1.2: Beelden van de detectorkop dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN =NP=î~å=QQ... -
Pagina 14: Werkingsprincipe
BSE's (2) komen vrij uit het monster • BSE's worden waargenomen door de diodes (vijf segmenten, 3) en genereren een elektrisch signaal. De bediening van de BSD4 detector wordt beheerd met het paneel BSD Control. De BSD4 detector wordt pneumatisch ingebracht en ingetrokken. NQ=î~å=QQ dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN... -
Pagina 15: Bsd-Modi
PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ 3.2.1. BSD-modi De BSD4 detector biedt twee bedieningsmodi (BSD): • Composition (BSD:COMPO): Elektronen van zware elementen (hoog atoomnummer) worden sterker teruggekaatst dan licht elementen (laag atoomnummer), Daarom verschijnen ze helderder op het beeld. Zo kunnen teruggekaatste elektronen worden gebruikt om het contrast te detecteren tussen gebieden met verschillende chemische composities. - Pagina 16 PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ De BSD-modis kunnen worden geselecteerd in de BSD-modi ® gebruikersinterface van SmartSEM Het paneel BSD Control vat de functie samen. • BSD: COMPO selecteert compositionele beeldvorming (de vier segmenten die gerangschikt zijn in een cir- kel worden gebruikt in de normale modus). •...
-
Pagina 17: Technische Gegevens
X-as: 4 mm Y-as: 9 mm Z-as: 13 mm 6inch-kamer: X-as: ± 4 mm Y-as: ± 11 mm Z-as: ± 16 mm 3.4. Systeemvereisten Vereisten om de BSD4 detector te laten functioneren: ® • SmartSEM verse 5.07 of hoger dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN =NT=î~å=QQ... -
Pagina 18: Klantenservice
Bovendien wordt aanbevolen een servicecontract af te sluiten met de plaatselijke service- organisatie of -vertegenwoordiger van ZEISS. Dit garandeert een blijvende probleemloze werking van de FESEM. 4. Installatie De BSD4 detector is ofwel in de fabriek geïnstalleerd of later door een geautoriseerde vertegen- woordiger van ZEISS ingebouwd. NU=î~å=QQ dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN... -
Pagina 19: Bediening
RK=_ÉÇáÉåáåÖ 5. Bediening OPGELET Kans op beschadiging van de BSD4 detector als het stadium wordt verplaatst. Macro's kunnen de beweging van het stadium beïnvloeden. Voer geen door de gebruiker gedefinieerde macro's uit die de veilige beweging van het sta- dium belemmeren. - Pagina 20 De BSD4 detector wordt pneumatisch aangedreven. Houd uw handen niet in de verplaatsingsbaan terwijl de BSD4 detector geplaatst wordt. Klik op BSD in. Het stadium gaat naar beneden om genoeg ruimte vrij te laten voor de BSD4 detector. De BSD4 detector gaat naar binnen. BELANGRIJK Beeldvormingsresultaten zijn het beste als de BSD4 detector gecentreerd is.
- Pagina 21 RK=_ÉÇáÉåáåÖ Controleer of BSD4 detector niet zichtbaar is in het InLens-/SE2-beeld. Als het BSD4 detector zichtbaar is in het InLens-/ SE2-beeld: dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN =ON=î~å=QQ...
- Pagina 22 RK=_ÉÇáÉåáåÖ Pas de positie van de BSD4 detector aan met de afstelknop zodat de BSD4 detector niet langer in het InLens-/SE2-beeld zicht- baar is. Ga naar de Detectors-tab van het FIB-bedie- ningspaneel. Kies BSD4 A uit het dropdown-menu. ® SmartSEM schakelt om naar de BSD4 detector.
- Pagina 23 Vergelijk de stigmatorwaarden die aan de onderzijde van beeld getoond worden met ingebracht BSD4 detector en ingetrokken BSD4 detector. Als de stigmatorwaarden sterk variëren tussen ingetrokken en ingebrachte staat of 30% overschrijden. Pas de positie van de BSD4 detector aan met de afstelknoppen. Nu is de BSD4 detector afgesteld. dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN...
-
Pagina 24: Verkrijgen Van Een Beeld
Het paneel BSD Control wordt geopend. OPGELET Kans op verbrijzeling. De BSD4 detector wordt pneumatisch aangedreven. Houd uw handen niet in de verplaatsingsbaan terwijl de BSD4 detector geplaatst wordt. Om de BSD4 detector in de monsterkamer te verplaatsen op BSD in klik- ken. -
Pagina 25: Bsd-Modus Selecteren
RK=_ÉÇáÉåáåÖ Het stadium gaat naar beneden om genoeg ruimte vrij te laten voor de BSD4 detector. De BSD4 detector gaat naar binnen. Ga naar de Detectors-tab van het paneel SEM Control. Kies BSD4 A uit het dropdown-menu. De software schakelt om naar het BSD4 detector -beeld. - Pagina 26 RK=_ÉÇáÉåáåÖ De BSD4 detector schakelt om naar de gekozen modus en toont een beeld. Als de TOPO-modus wordt gebruikt moeten de te- genoverliggende dioden die aangebracht zijn in een cirkel omge- keerde polariteit hebben. Voorbeelden van combinaties worden op de beel- den getoond.
-
Pagina 27: Optimaliseren Van Het Beeld
RK=_ÉÇáÉåáåÖ 5.2.3. Optimaliseren van het beeld 5.2.3.1. Automatisch instellen van het regelbereik Als de optie BSD Auto Range aangevinkt is, wordt het regelbereik automatisch aangepast voor elke BSD-modus, afhankelijk van helderheid en contrast. Vier regelbereiken zijn beschikbaar in het menu: •... -
Pagina 28: Handmatig Instellen Van Het Regelbereik
RK=_ÉÇáÉåáåÖ 5.2.3.2. Handmatig instellen van het regelbereik Als het vinkje bij de optie BSD Auto Range weggehaald is, moet u het regelbereik handmatig kie- zen. BELANGRIJK Door een handmatige selectie van de regelbereiken zijn meer door de gebruiker gedefini- eerde afstellingen mogelijk. -
Pagina 29: Opslaan En Weer Oproepen Van Segmentinstellingen
RK=_ÉÇáÉåáåÖ 5.2.3.3. Opslaan en weer oproepen van segmentinstellingen Het is mogelijk om segmentinstellingen op te slaan als een nieuwe TOPO-modus. BELANGRIJK Het opslaan van de instelling is niet noduig in de COMP-modus omdat alle segmenten au- tomatisch op + worden gezet. Procedure: Voer de gewenste segmentaanpassingen uit. - Pagina 30 RK=_ÉÇáÉåáåÖ Om de aanpassingen weer op te roepen op BSD:Set TOPO klikken. De segmentinstellingen van stap 2 worden gela- den. PM=î~å=QQ dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN...
-
Pagina 31: Stoppen Van De Bsd4 Detector In Geval Van Nood
Om materiële schade te voorkomen kan de BSD4 detector op elke positie worden gestopt. Hiervoor is een STOP-knop geïntegreerd in het paneel van de BSD Control. Als u merkt dat de BSD4 detector gestopt moet worden omdat het componenten in de monster- kamer gaat raken: Klik op BSD Stop. -
Pagina 32: Opslaan En Weer Oproepen Van Stadiumcoördinaten (Licentie: Stageco)
STAGECO) Bij de installatie is minstens één stadiumpositie opgeslagen door de vertegenwoordiger van ZEISS. Maar het is mogelijk een lijst met aangepaste stadiumposities op te slaan, samen met ver- groting en werkafstand. Zo kunt u deze positie gemakkelijk weer oproepen. -
Pagina 33: Stadiumcoördinaten Weer Oproepen
RK=_ÉÇáÉåáåÖ Om een stadiumpositie te bewerken de positie markeren en op Edit klikken. De dialoog Points Data wordt geopend. Stel de gewenste parameters in. Klik op OK. Om een stadiumpositie te wissen de positie markeren en op Del klikken. 5.4.2. Stadiumcoördinaten weer oproepen dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN =PP=î~å=QQ... -
Pagina 34: Quad-Modus Gebruiken
Wijs een BSD-detectortype toe aan ieder kwadrant. • Sleep een anker naar het eerste kwa- drant, kies BSD4 A in het paneel SEM Control/Detectors-tab en kies seg- menten voor BSD4 (bijvoorbeeld +S4 / -S2) in het paneel BSD Control. •... - Pagina 35 RK=_ÉÇáÉåáåÖ In het paneel BSD Control op Equalise B/C klikken. Let op De waarden van helderheid en contrast van de actuele kwadranten wordt ingesteld op de andere drie kwadranten. dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN =PR=î~å=QQ...
-
Pagina 36: Werken Met De Bsd4 Detector Beëindigen
RK=_ÉÇáÉåáåÖ 5.6. Werken met de BSD4 detector beëindigen Als u het werk met de BSD4 detector beëindigt, trek het dan in naar de veilige positie. OPGELET Kans op beschadiging van de BSD4 detector als het monsterstadium wordt verplaatst. Intrekken van de BSD4 detector als u de beeldvorming hebt beëindigd. - Pagina 37 OPGELET Kans op verbrijzeling. De BSD4 detector wordt pneumatisch aangedreven. Houd uw handen niet in de verplaatsingsbaan terwijl de BSD4 detector geplaatst wordt. In het paneel BSD Control op BSD out klik- ken. Het stadium gaat naar een veilige positie.
- Pagina 38 RK=_ÉÇáÉåáåÖ De positie van de BSD4 detector wordt getoond als BSD Position = Out PU=î~å=QQ dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN...
-
Pagina 39: Onderhoud En Reparatie
SK=låÇÉêÜçìÇ=Éå=êÉé~ê~íáÉ 6. Onderhoud en reparatie 6.1. Contactalarm resetten Als de BSD4 detector de monsterhouder of de objectieflens raakt is een waarschuwing te horen en een waarschuwing verschijnt op het scherm. Klik op OK om de waarschuwing te accepte- ren. Er verschijnt een waarschuwing dat een initialisa- tie van het stadium vereist is. -
Pagina 40: Smeren Van De Staaf
Het gebruik van ongeschikte smeermiddelen kan het vacuümsysteem vervuilen. Gebruik uitsluitend TEM-olie 300 om de staaf te smeren. Procedure: Trek de BSD4 detector in. Reinig de staaf met isopropanol. Gebruik een schone, pluisvrije doek. Breng wat druppels TEM-olie 300 over de staaf aan. -
Pagina 41: Probleemoplossing
TK=aÉJáåëí~ää~íáÉ=Éå=~ÑîçÉê 6.3. Probleemoplossing De BSD4 detector kan niet worden onderhouden door de gebruiker. Neem in geval van een defect contact op met uw plaatselijke vertegenwoordiger van ZEISS voor ondersteuning. Symptoom Mogelijke reden(en) Aanbevolen actie/s De BSD4 detector kan Stadium is niet geïnitialiseerd. -
Pagina 42: Afkortingen
UK=^ÑâçêíáåÖÉå 8. Afkortingen BSD4 detector Vijfsegments backscattered electron detector Backscattered electron detector (teruggekaatste elektronendetector) Backscattered electron (verstrooide elektron) COMPO Detecteert compositioneel materiaalcontrast Detectie van contrast tussen gebieden met verschillende chemische composities Extra high tension (extra-hoogspanning) FESEM Field emission scanning electron microscope (Veldemissie scanning... -
Pagina 43: Register
NMK=oÉÖáëíÉê 10. Register Aanpassen van de BSD4-positie 19 Installatie 18 Aanpassingsknop voor X-as 12 Intrekken van de BSD4 36 Aanpassingsknop voor Y-as 12 Aanpassingsknop voor Z-as 12 Afkortingen 42 Klantenservice 18 Automatisch instellen van het regelbe- reik 27 Onderhoud en reparatie 39... - Pagina 44 One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 microscopy@zeiss.com Plus a worldwide network of distributors www.zeiss.com/microscopy Due to a policy of continuous development, we reserve the right to change specifications without notice. © Oberkochen 2013 by Carl Zeiss Microscopy GmbH, - all rights reserved...