Inhoudsopgave
Advertenties
3.3. Technische gegevens
3.3.1. Productidentificatie
Werkstation
MERLIN
MERLIN
MERLIN
Crossbeam 340/540
Crossbeam 360/560
3.3.2. Specificatie
Eigenschap
Verplaatsing
Verplaatsingssnelheid
Herhaalbaarheid
Fijnafstelling
3.4. Systeemvereisten
Vereisten om de BSD4 detector te laten functioneren:
•
SmartSEM
dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN
BSD4 detector
®
BSD4 detector
®
Compact
®
VP Compact
BSD4 detector (lange versie)
®
verse 5.07 of hoger
Specificatie
4inch-kamer: 200 mm
6inch-kamer: 270mm
30-60 mm/s
X-as: ± 5 µm
Y-as: ± 5 µm
Z-as: ± 25 µm
4inch-kamer:
X-as: 4 mm
Y-as: 9 mm
Z-as: 13 mm
6inch-kamer:
X-as: ± 4 mm
Y-as: ± 11 mm
Z-as: ± 16 mm
PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ
Onderdeelnr.
349506-9016-000
349506-9016-010
=NT=î~å=QQ
Advertenties
Inhoudsopgave
