Het stadium gaat naar beneden om genoeg ruimte vrij te laten
voor de BSD4 detector. De BSD4 detector gaat naar binnen.
4
Ga naar de Detectors-tab
van het paneel SEM Control.
5
Kies BSD4 A uit het dropdown-menu.
6
De software schakelt om naar het BSD4 detector
-beeld.
5.2.2. BSD-modus selecteren
Voorwaarden:
•
De BSD4 detector wordt ingebracht
Procedure:
1
Kies een bedieningsmodus met de knoppen.
a
b
dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN
BSD: COMPO (1)
selecteert compositionele beeldvorming.
BSD:TOPO (2)
selecteert oppervlaktetopografie
1
2
RK=_ÉÇáÉåáåÖ
=OR=î~å=QQ