5. Bediening
OPGELET
Kans op beschadiging van de BSD4 detector als het stadium wordt verplaatst.
Macro's kunnen de beweging van het stadium beïnvloeden.
Voer geen door de gebruiker gedefinieerde macro's uit die de veilige beweging van het sta-
dium belemmeren.
5.1. Werken met de BSD4 detector voorbereiden
Voordat wordt gewerkt met de BSD4 detector, moet de detector worden afgesteld.
1
Ga naar de Detectors-tab van het FIB-bedie-
ningspaneel.
2
Kies InLens van SE2 uit het dropdown-menu.
SmartSEM
detector.
3
Kies de kleinste vergroting.
4
Kies Detection/BSD Control....
dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN
®
schakelt om naar de geselecteerde
RK=_ÉÇáÉåáåÖ
=NV=î~å=QQ