13 Technische gegevens en maatschetsen
13.1 Algemeen
Grondslagen voor technische gegevens van Pfeiffer Vacuum turbopompen:
● Voldoet aan de vereisten van de PNEUROP-commissie PN5
● en ISO 21360; 2007 norm: "Vacuümtechniek - standaardprocedure voor het meten
van vermogensgegevens van vacuümpompen - Algemene beschrijving"
● ISO 5302; 2003: "Vacuümtechniek - Turbomoleculairpompen - Meting van vermo-
genskenmerken"
● Einddruk: met test van 48 standaard uitstookduur
● Gasdoorzet met waterkoeling, koelwatertemperatuur 25 °C; voorpomp= draaischuif-
3
pomp (120 m
/h)
● Koelwaterverbruik: bij max. gasdebiet, koelwatertemperatuur 25 °C
● Integraal lekpercentage: met heliumconcentratie 100 %, meetduur 10 s
● Geluidsdrukniveau: afstand tot de pomp 1 m
Omrekeningstabel: Drukeenheden
mbar
mbar
1
bar
1000
Pa
0,01
hPa
1
kPa
10
Torr
1,33
mm Hg
Omrekeningstabel: Gasdebiet eenheden
mbar l/s
mbar l/s
1
3
Pa m
/s
10
-2
sccm
1,69 · 10
Torr l/s
1,33
3
atm cm
/s
1,01
Technische gegevens en maatschetsen
bar
Pa
-3
1 · 10
100
5
1
1 · 10
-5
1 · 10
1
-3
1 · 10
100
0,01
1000
-3
1,33 · 10
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
3
Pa m
/s
sccm
0,1
59,2
1
592
-3
1,69 · 10
1
0,133
78,9
0,101
59,8
hPa
kPa
mm Hg
1
0,1
1000
100
-3
0,01
1 · 10
7,5 · 10
1
0,1
10
1
1,33
0,133
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
Torr
0,75
750
-3
0,75
7,5
1
3
/s
-2
1
39