Download Inhoudsopgave Inhoud Print deze pagina

Afhankelijkheid Van Gas - Edwards AIM-S-NW25 Installatiehandleiding

Inhoudsopgave

Advertenties

D14641886 Issue L
Er wordt een 8-polige elektrische connectoraansluiting op de AIM-meter
(Figuur
1, artikel 6) gebruikt om de
AIM-meter aan te sluiten op uw AGC, AGD of stroomvoeding en voltmeter. Elektrische kabels met geschikte
verbindingsstekkers zijn verkrijgbaar als accessoire.
De elektrische aansluiting geeft een signaal voor meteridentificatie af: dit signaal wordt door AGC's van Edwards
gebruikt om te identificeren welk type actieve meter is aangesloten.
De AIM-meter is voorzien van een instelpuntfunctie. Het instelpuntsignaal is een open-drain transistoroutput die is
ingeschakeld wanneer de door de meter gemeten druk onder een vooraf ingestelde waarde daalt. De druk waarbij
de instelpuntoutput wordt ingeschakeld, kan worden gewijzigd. Zie daartoe
Hoofdstuk
4.4. Opgelet: als u een
AGC-regelaar of AGD-display van Edwards gebruikt, wordt het instelpunt-outputsignaal van de AIM-meter
niet gebruikt.
1.3

Afhankelijkheid van gas

De ionisatie van het gas in het vacuümsysteem is afhankelijk van zowel de druk als de fysieke eigenschappen van het
gas. Het outputsignaal van de AIM-meter is daarom afhankelijk van het gas.
De omzetting van de spanning van het outputsignaal naar druk in
Tabel 2
is van toepassing voor stikstof en
droge lucht.
Kalibratiegrafieken voor gebruik met argon, neon, krypton, helium en koolstofdioxide kunnen worden aangevraagd.
Neem daartoe contact op met uw leverancier of met Edwards.
Pagina 2
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.

Advertenties

Inhoudsopgave
loading

Inhoudsopgave