Inhoudsopgave
Advertenties
1
Inleiding
1.1
Toepassingen en definities
Deze handleiding bevat instructies voor de installatie, de bediening en het onderhoud van de AIM-meter (actieve
omgekeerde magnetronmeter) van Edwards. U moet de AIM-meter gebruiken zoals wordt voorgeschreven in
deze handleiding.
Lees deze handleiding voordat u de AIM-meter installeert en in gebruik neemt. Deze richtlijnen moeten worden
opgevolgd. De daarbij vermelde instructies dient u absoluut in acht te nemen. Het gebruik van de indicaties
WAARSCHUWING en VOORZICHTIG wordt hieronder toegelicht.
Waarschuwingen worden gegeven waar niet-inachtneming van de instructie tot lichamelijk letsel
of levensgevaar kan leiden.
De indicatie 'VOORZICHTIG' wordt vermeld wanneer niet-opvolging van de instructie kan leiden tot schade aan
de apparatuur, de daaraan verbonden apparatuur en/of het proces.
De eenheden die in deze handleiding worden gebruikt, zijn conform het SI internationaal systeem van
meeteenheden.
Het volgende waarschuwingssymbool bevindt zich ook op het product:
Edwards biedt Europese klanten een recyclingservice.
1.2
Omschrijving
De AIM-meter, zoals afgebeeld op
compacte unit. De meter werkt als een ionisatiemeter met koude kathode waarin de druk indirect wordt gemeten
als een functie van de stroom die in een Townsend-ontlading stroomt die in de hoofdbuis in stand gehouden wordt.
De AIM-meter is verkrijgbaar in vier versies: S, SL, X en XL. De X- en XL-meters beschikken over een groter meetbereik
(zie hieronder) en een lineaire uitgang. De SL- en XL-meters hebben een erg klein extern magnetisch veld en zijn
geschikt voor gebruik met gevoelige analyse-instrumenten.
Het meetbereik van de AIM-S- en AIM-SL-meters is 1 x 10
-9
AIM-XL-meters is 1 x 10
De AIM-meter vereist een 13,5 tot 36 V gelijkstroomvoeding: hij beschikt over een analoge output van 2 tot 10 V
gelijkstroom, die samenhangt met de druk. De AIM-meter is compatibel met de Active Gauge Controllers (AGC) en
de bijbehorende versies van de Active Gauge Display (AGD) van Edwards.
Er kan ook een onafhankelijke voeding worden gebruikt voor de AIM-meter en het outputsignaal van de AIM-meter
kan worden afgelezen met een voltmeter of een analoog/digitaal-omzetter.
Wij raden aan de AIM-meter niet te gebruiken tenzij de druk in het vacuümsysteem 1 x 10
Het signaal voor het inschakelen van de meter wordt gebruikt om de werking van de AIM-meter te regelen.
Zie
Hoofdstuk 4.2
voor meer informatie.
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
WAARSCHUWING
VOORZICHTIG
Figuur
1, is een omgekeerde magnetronmeterkop en -regelaar in één enkele
-2
tot 1 x 10
mbar. De vacuümaansluiting van de AIM-meter is een NW25-flens.
-8
-2
tot 1 x 10
mbar. Het meetbereik van de AIM-X- en
D14641886 Issue L
-2
mbar of lager is.
Pagina 1
Advertenties
Inhoudsopgave
