Inhoudsopgave
Advertenties
5
Onderhoud
5.1
Inleiding
Koppel de elektronica- en magneetbehuizing niet los van de hoofdbuis wanneer de hoofdbuis is
aangesloten op het vacuümsysteem. Als er een plasmaontlading plaatsvindt in het vacuümsysteem
nabij de hoofdbuis, kan de hoofdbuis elektrisch geladen raken.
Koppel de kabel los van de AIM-meter voordat u de AIM-meter van het vacuümsysteem loskoppelt.
In de AIM-meter worden hoge spanningen gegenereerd.
De interne onderdelen van de AIM-meter worden getoond in
onderdelen eenvoudig kunnen worden gereinigd of vervangen met gebruik van de reserveonderdelen vermeld in
Hoofdstuk
7. Raadpleeg de volgende paragrafen voor informatie over onderhoudsprocedures die moeten worden
uitgevoerd wanneer dat nodig is.
5.2
De hoofdbuis vervangen
Zie
Figuur 4
en gebruik de volgende procedures om de hoofdbuis te vervangen.
5.2.1
De AIM-meter loskoppelen van het vacuümsysteem
1. Schakel de stroomvoeding van de AIM-meter uit en zorg ervoor dat het vacuümsysteem op atmosferische druk is.
2. Koppel de kabelconnectorplug
het vacuümsysteem.
5.2.2
De nieuwe hoofdbuis plaatsen
1. Houd de magneetbehuizing (1) vast en draai de hoofdbuis (5) in tegenwijzerzin (bekeken vanuit de vacuümflens)
om de bajonetfitting te ontgrendelen. Verwijder de hoofdbuis uit de magneetbehuizing.
2. Schuif de nieuwe hoofdbuis in de magneetbehuizing (1) (zoals aangegeven met pijl B).
3. Houd de magneetbehuizing (1) vast en draai de hoofdbuis (5) in wijzerzin (bekeken vanuit de vacuümflens) om
de bajonetfitting te vergrendelen (zoals aangegeven met pijl C).
5.2.3
De AIM-meter opnieuw aansluiten op het vacuümsysteem
Sluit de AIM-meter opnieuw aan op het vacuümsysteem zoals beschreven in
kabelconnectorplug opnieuw aan op de contactdoos op de AIM-meter
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
WAARSCHUWING
WAARSCHUWING
(Figuur
1, artikel 5) los van de AIM-meter en koppel de AIM-meter los van
Figuur
4. De AIM-meter is zo ontworpen dat de
Hoofdstuk 3.2
(Figuur
1, artikel 6).
D14641886 Issue L
en sluit de
Pagina 15
Advertenties
Inhoudsopgave
