Inhoudsopgave
Advertenties
Inhoudsopgave
Hoofdstuk
1
Inleiding ............................................................................................ 1
1.1
Toepassingen en definities ............................................................................................. 1
1.2
Omschrijving .............................................................................................................. 1
1.3
Afhankelijkheid van gas ................................................................................................. 2
2
Technische gegevens ............................................................................. 5
2.1
Mechanische gegevens .................................................................................................. 5
2.2
Voorwaarden voor prestaties, werking en opslag ................................................................... 5
2.3
Elektrische gegevens .................................................................................................... 7
2.4
Foutbewaking ............................................................................................................. 7
2.5
Aan vacuüm blootgestelde materialen ............................................................................... 8
3
Installatie .......................................................................................... 9
3.1
Uitpakken en controleren .............................................................................................. 9
3.2
De AIM-meter aansluiten op het vacuümsysteem ................................................................... 9
3.3
Elektrische aansluitingen ............................................................................................... 9
3.3.1
Aansluiten op regelaars of AGD-displays van Edwards ............................................................. 9
3.3.2
Aansluiten op uw eigen voedings- en regelapparatuur ...........................................................10
4
Bediening ........................................................................................ 13
4.1
Veiligheid ................................................................................................................ 13
4.2
De AIM-meter in- en uitschakelen .................................................................................... 13
4.3
Drukmeting .............................................................................................................. 13
4.4
Instelpunt ................................................................................................................ 14
5
Onderhoud ....................................................................................... 15
5.1
Inleiding .................................................................................................................. 15
5.2
De hoofdbuis vervangen ...............................................................................................15
5.2.1
De AIM-meter loskoppelen van het vacuümsysteem ...............................................................15
5.2.2
De nieuwe hoofdbuis plaatsen ........................................................................................ 15
5.2.3
De AIM-meter opnieuw aansluiten op het vacuümsysteem .......................................................15
5.3
De elektrodeconstructie vervangen .................................................................................. 17
5.4
De elektronica- en magneetbehuizing vervangen .................................................................17
5.5
De interne onderdelen reinigen ...................................................................................... 17
5.6
Opsporen van storingen ................................................................................................18
6
Opslag en verwijdering ........................................................................ 19
6.1
Opslag .................................................................................................................... 19
6.2
Verwijdering ............................................................................................................. 19
6.3
Retourneren van apparatuur of onderdelen voor onderhoud ....................................................19
7
Reserveonderdelen en accessoires ........................................................... 21
7.1
Inleiding .................................................................................................................. 21
7.2
Reserveonderdelen .....................................................................................................21
7.3
Accessoires ............................................................................................................... 21
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
D14641886 Issue L
Pagina
Pagina i
Advertenties
Inhoudsopgave
