4
Bediening
4.1
Veiligheid
Gebruik de AIM-meter niet om de druk van explosieve of ontvlambare gassen of mengsels te meten.
Gebruik de AIM-meter niet wanneer hij is losgekoppeld van het vacuümsysteem of wanneer er
explosieve of ontvlambare gassen aanwezig zijn in de omringende atmosfeer of het
vacuümsysteem. In de hoofdbuis van de AIM-meter ontstaan hoge spanningen (tot 3 kV);
deze kunnen letsel veroorzaken of een ontstekingsbron vormen.
De AIM-meter bevat magneten. Houd de AIM-meter daarom weg van pacemakers, computers,
creditcards en andere voorwerpen die gevoelig zijn voor magneten.
4.2
De AIM-meter in- en uitschakelen
Gebruik de AIM-meter niet voor langere periodes wanneer de systeemdruk hoger is dan 1 x 10
dat wel, dan kan de anode-pen beschadigd raken en kan de AIM-meter ernstig verontreinigd worden.
Wij raden aan om de meter enkel in te schakelen wanneer de systeemdruk lager is dan 1 x 10
uit te schakelen wanneer de systeemdruk 1 x 10
Als u de AIM-meter hebt aangesloten op een AGC of AGD, dient u de bijbehorende instructiehandleiding te raadplegen
om te weten te komen hoe u de AIM-meter moet in- en uitschakelen.
Zo niet, sluit u pen 7 aan op pen 2 (of op de aarding) om de AIM-meter in te schakelen. Om de AIM-meter uit te
schakelen, koppelt u pen 7 opnieuw los van pen 2 (of van de aarding).
4.3
Drukmeting
Als de AIM-meter is aangesloten op een AGC-regelaar of AGD-display van Edwards, wordt de door de AIM-meter
gemeten druk op het display getoond.
Als de signaaloutput van de AIM-meter is aangesloten op een voltmeter, moet de gemeten spanning worden
omgerekend naar de bijbehorende drukwaarde: raadpleeg
AIM-X- en AIM-XL-meters de volgende formule:
7
(
/
V - 10,75)
P = 10
8
waarbij P de druk in mbar is en V de gemeten spanning.
Indien nodig kunt u de drukwaarde aanpassen om te compenseren voor de RMM van het gas in uw vacuümsysteem
(raadpleeg
Hoofdstuk
1.3).
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
WAARSCHUWING
WAARSCHUWING
WAARSCHUWING
VOORZICHTIG
-2
mbar of hoger is.
Tabel 2
voor AIM-S- en AIM-SL-meters, en gebruik voor
D14641886 Issue L
-2
mbar. Doet u
-2
mbar en om de meter
Pagina 13