Installatie
5.3.2 Een aardbevingbeveiliging overwegen
Schade aan de vacuümpomp, veroorzaakt door externe trillingen
In het geval van aardbevingen of andere externe trillingen, bestaat er een kans dat de rotor in contact
komt met de veiligheidslagers of dat de wand van de behuizing de turbopomp raakt. Dit kan tot me-
chanische belastingen leiden, die er zelfs voor kunnen zorgen dat de turbopomp kapot gaat.
► Zorg ervoor dat alle flens- en veiligheidsverbindingen de ontstane krachten absorberen.
► Beveilig de vacuümkamer tegen verplaatsen of kantelen.
Afb. 3:
1
5.3.3 Gebruik een splinterscherm of veiligheidsscherm
Centreerringen van Pfeiffer Vacuum met splinterscherm of veiligheidsscherm in de hoogvacuümflens
beschermen de turbopomp tegen vreemde stoffen uit de vacuümkamer. De pompsnelheid van de turbo-
pomp neemt af in overeenstemming met de doorvoerrichtwaarden en de grootte van de hoogvacuüm-
flens.
Flensgrootte
Splinterscherm DN 40
Splinterscherm DN 63
Veiligheidsscherm DN 63
Tab. 7:
Procedure
1. Gebruik bij ISO-flenzen centreerringen met veiligheidsscherm of splinterscherm.
2. Gebruik bij CF-flenzen altijd een veiligheidsscherm of splinterscherm met klemringen die in de
24/60
VACUUM CHAMBER
Voorbeeld: Veiligheidsverbindingen
Veiligheidsverbindingen, klantlocatie
Effect van een splinterscherm of veiligheidsscherm op de pompsnelheid
richting van de rotor in de hoogvacuümflens wijzen.
OPMERKING
Verlaagde pompsnelheid in % voor gastype
H
He
2
6
9
3
6
1
1
1
N
Ar
2
17
18
15
16
4
4