Inhoudsopgave
Advertenties
Veiligheid
Levensgevaar door ontbrekend netuitschakelapparaat
De vacuümpomp en elektronische aandrijfeenheid zijn niet uitgerust met een stroomonderbrekings-
apparaat (hoofdschakelaar).
► Installeer een stroomonderbrekingsapparaat conform SEMI-S2.
► Installeer een contactverbreker met een onderbrekingswaarde van minimaal 10.000 A.
Gevaar voor letsel door onjuiste installatie
Er kunnen gevaarlijke situaties ontstaan door een onveilige of onjuiste installatie.
► Voer niet uw eigen conversies of aanpassingen op de eenheid uit.
► Zorg voor de integratie in een nooduit-veiligheidscircuit.
Gevaar voor snijwonden door een onverwachte start.
Het gebruik van contrapluggen van de elektronische aandrijfeenheid (accessoires) maakt het auto-
matisch opstarten van de vacuümpomp mogelijk zodra de voeding wordt ingeschakeld. Het bevesti-
gen van contrapluggen vóór of tijdens de installatie leidt tot het bewegen van de onderdelen, en ver-
groot het gevaar op snijwonden door scherpe randen in de blootgestelde hoogvacuümflens.
► Verbind alleen contrapluggen na de mechanische installatie.
► Schakel de vacuümpomp onmiddellijk in vóór het in bedrijf stellen.
Gevaren tijdens het bedrijf
Gevaar voor brandwonden door hete oppervlakken als u extra apparatuur gebruikt voor ver-
warming tijdens het bedrijf
Het gebruik van extra apparatuur voor het verwarmen van de vacuümpomp of voor het optimaliseren
van het proces genereert zeer hoge temperaturen van oppervlakken die aangeraakt kunnen worden.
Er bestaat gevaar voor brandwonden.
► Installeer, indien nodig, een contactafscherming.
► Breng, indien nodig, de waarschuwingssticker aan, geleverd om op deze gevaarlijke punten aan
► Zorg voor een geschikte afkoeling vóór het werken aan de vacuümpomp of de omgeving hiervan.
► Draag persoonlijke beschermingsmiddelen, bijvoorbeeld handschoenen.
Gevaar voor ernstig letsel in het geval van vernietiging van de vacuümpomp door overdruk.
Gasinvoer met zeer hoge overdruk resulteert in de vernietiging van de vacuümpomp. Er bestaat ge-
vaar voor ernstig letsel door eruit geslingerde voorwerpen.
► Overschrijd nooit de toegestane 1500 hPa (absoluut) inlaatdruk aan de aanzuigzijde of de ont-
► Zorg ervoor dat hoge procesgerelateerde overdrukken niet rechtstreeks in de vacuümpomp te-
Gevaar voor letsel door contact met vacuüm tijdens het ontluchten
Tijdens het ontluchten van de vacuümpomp is er gevaar voor geringe verwondingen door direct con-
tact van lichaamsdelen met het vacuüm, bijvoorbeeld bloeduitstortingen.
► Draai de ontluchtingsschroef niet volledig uit de behuizing tijdens het ontluchten.
► Blijf uit de buurt van automatische ontluchtingsapparaten, zoals ontluchtingskleppen.
12/60
WAARSCHUWING
WAARSCHUWING
WAARSCHUWING
WAARSCHUWING
te brengen.
WAARSCHUWING
luchtings- en spergasaansluiting.
recht kunnen komen.
VOORZICHTIG
Advertenties
Inhoudsopgave
