Inhoudsopgave
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Hoofdstuk
1
Inleiding ............................................................................................ 1
1.1
Toepassingen en definities ............................................................................................. 1
1.2
Omschrijving .............................................................................................................. 1
1.3
Afhankelijkheid van gas ................................................................................................. 2
2
Technische gegevens ............................................................................. 5
2.1
Mechanische gegevens .................................................................................................. 5
2.2
Voorwaarden voor prestaties, werking en opslag ................................................................... 5
2.3
Elektrische gegevens .................................................................................................... 5
2.4
Aan vacuüm blootgestelde materialen ............................................................................... 6
3
Installatie ........................................................................................ 11
3.1
Uitpakken en controleren .............................................................................................11
3.2
De WRG aansluiten op het vacuümsysteem ......................................................................... 11
3.3
Elektrische aansluitingen ..............................................................................................11
3.3.1
Aansluiting op Edwards-regelaars of AGD-display .................................................................11
3.3.2
Aansluiting op voedings- en bedieningsapparatuur van de klant ................................................ 12
4
Bediening ........................................................................................ 13
4.1
Veiligheid ................................................................................................................ 13
4.2
Drukmeting .............................................................................................................. 14
4.3
Atmosfeerafstelling .....................................................................................................14
4.4
Vacuümafstelling .......................................................................................................15
4.5
Instelpunt ................................................................................................................ 15
4.6
Foutbewaking ............................................................................................................ 16
5
Onderhoud ....................................................................................... 17
5.1
Inleiding .................................................................................................................. 17
5.2
De hoofdbuis vervangen ...............................................................................................17
5.3
De elektrode- en Pirani-constructies vervangen ................................................................... 18
5.4
De elektronica- en magneetbehuizing vervangen .................................................................19
5.5
De interne onderdelen reinigen ...................................................................................... 19
6
Opslag en verwijdering ........................................................................ 21
6.1
Opslag .................................................................................................................... 21
6.2
Verwijdering ............................................................................................................. 21
7
Service, reserveonderdelen en accessoires ................................................. 23
7.1
Inleiding .................................................................................................................. 23
7.2
Service .................................................................................................................... 23
7.2.1
Retourneren van apparatuur of onderdelen voor onderhoud ....................................................23
7.3
Reserveonderdelen .....................................................................................................24
7.4
Accessoires ............................................................................................................... 24
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D14701886 Issue L
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