Download Inhoudsopgave Inhoud Print deze pagina

De Elektrode- En Pirani-Constructies Vervangen - Edwards WRG-S-NW25 Instructiehandleiding

Inhoudsopgave

Advertenties

D14701886 Issue L
5.3

De elektrode- en Pirani-constructies vervangen

Zie
Figuur 9
en de volgende procedure.
1. Koppel de WRG los van het vacuümsysteem en maak de hoofdbuiseenheid los van de WRG zoals beschreven
in
Hoofdstuk
5.2.
2. Draai met een geschikte schroevendraaier de vier schroeven (1) op de bovenkant van de hoofdbuis los en
verwijder de behuizing van de Pirani-buis (2), de Pirani-buis (4), de Vitonpakking (5), de anodeconstructie (6) en
de Viton O-ring (7) van de hoofdbuis (9).
3. Verwijder met een borgringtang de borgring (12) van het vacuümflenseinde van de hoofdbuis (9) en verwijder
vervolgens de kathodestraalbuis (11) en de kathodeplaat (10).
4. Plaats de nieuwe kathodeplaat (10) en kathodestraalbuis (11) in de hoofdbuis (9) en zet ze vast met de
borgring (12).
5. Plaats de nieuwe O-ring (7) en anodeconstructie (6) op de hoofdbuis (9). Zorg ervoor dat de anodeconstructie in
de juiste stand wordt geplaatst. Let erop dat de strikergloeidraad (13) niet wordt beschadigd.
6. Plaats de Pirani-buis (4) in de plastic Pirani-behuizing (2). Plaats de pakking (5) op de Pirani-behuizing (2) en
druk met uw duim om de pakking op zijn plaats in de Pirani-behuizing (2) te brengen.
7. Plaats de combinatie van de Pirani-behuizing (2), de Pirani-buis (4) en de pakking (5) op de anodeconstructie.
Zorg ervoor dat de drie pennen op de juiste plek worden geplaatst.
8. Draai de anodeconstructie en de Pirani-constructie voorzichtig totdat de pijl (3) op de plastic Pirani-behuizing in
lijn is met de groef (8) in de hoofdbuis. Let erop dat de strikergloeidraad (13) niet wordt beschadigd.
9. Breng de vier M2-schroeven (1) met bijbehorende borgringen weer aan in de vier gaten in de plastic Pirani-
behuizing (2) en haal ze gelijkmatig aan tot een aanhaalmoment van 0,2 N.m.
10. Breng de hoofdbuis weer aan op de magneetbehuizing, zoals omschreven in
Pagina 18
Figuur 8 – De hoofdbuiseenheid weer aanbrengen
Hoofdstuk
© Edwards Limited 2020. Alle rechten voorbehouden.
5.2.

Advertenties

Inhoudsopgave
loading

Inhoudsopgave