5.6
Voorvacuümzijde aansluiten
Aanbeveling: Als voorpomp een droge compressie vacuümpomp uit het programma
van Pfeiffer Vacuum gebruiken.
Schade voor de gezondheid door giftige gassen
Procesgassen kunnen schadelijk zijn voor de gezondheid en milieuverontreinigend zijn.
De gasemissie van de voorpomp veilig afvoeren!
Alle veiligheidsvoorschriften van de gasfabrikant opvolgen.
Fig. 10: Voorpomp aansluiten
415 Voorvacuümaansluiting
415a Voorvacuümpomp
Opstelling van de voorvacuümaansluiting met het oog op plotseling verdraaien
van de pomp
Bij de bevestiging van hoogvacuümflenzen in ISO-KF- of ISO-K-uitvoering kan een plot-
selinge blokkering van de rotor ondanks een correcte installatie leiden tot verdraaiing.
Direct op de pomp te installeren massa's beperkt houden.
Indien nodig flexibele leidingelementen direct op de turbopomp aansluiten.
Bij starre pijpverbindingen: veerbalgen voor het dempen van trillingen inbouwen in de
verbindingsleiding.
Voorvacuümleiding met kleine flens onderdelen of slangschroefverbindingen aanslui-
ten. Vrije dwarsdoorsnede van de voorvacuümflens niet vernauwen!
Zie voor de aansluiting en gebruik van de voorvacuümpomp de bijbehorende gebrui-
kershandleiding.
WAARSCHUWING
415
415.1
415.2
415.3
415.1 Centreerring
415.2 Klemring
LET OP
Installatie
415a
415.3 Vacuum componenten
21