Pagina 1 All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF Pump Models 869-8928 Controller model: 969-8979M005 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog...
Pagina 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Pagina 3 All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 3/294...
Pagina 4 All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF 4/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 5: Inhoudsopgave
All manuals and user guides at all-guides.com Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione 19 Uso 21 Manutenzione 24 Smaltimento 25 Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 ...
Pagina 6 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Mode d’emploi 41 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 42 Indications générales 43 Stockage 45 Preparation pour l’installation 46 Installation 47 Utilization 49 Entretien 52 Mise au rebut 53 Manual de istrucciones 55 ...
Pagina 7 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Armazenagem 73 Preparação para a instalação 74 Instalação 75 Utilização 77 Manutenção 80 Bedrijfshandleiding 83 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken 88 Installatie 89 Gebruik 91 Onderhoud 94 Afvalverwerking 95 ...
Pagina 8 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Bortskaffelse 109 Bruksanvisning 111 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information 113 Förvaring 115 Förberedelser för installation 116 Installation 117 Användning 119 Underhåll 122 Bortskaffning 123 Instruksjon Manual 125 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 126 ...
Pagina 9 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Varastointi 143 Valmistelut asennusta varten144 Asennus 145 Käyttö 147 Huolto 150 Hävittäminen 151 11 Felhasználói Kézikönyv 153 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános informáicó 155 Tárolás 157 Előkészítés telepítésre 158 Telepítés 159 Használat 161 ...
Pagina 10 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Konserwacja 178 Przetworstwo odpadow 179 13 Návod k Použití 181 Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění 185 Příprava k instalaci 186 Instalace 187 Použití 189 Údržba 192 Likvidace 193 ...
Pagina 11 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Splošne informacije 211 Shranjevanje 213 Priprava za montažo 214 Montaža 215 Uporaba 217 Vzdrževanje 220 Odlaganje opadkov 221 16 Instructions for Use 223 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information 225 Storage 227 ...
Pagina 12 All manuals and user guides at all-guides.com Contents Water Cooling Kit Installation 270 Purge Valve Installation 273 Serial Cable Installation 274 TV 401/301/21 NSF Controller Installation 275 Connection of the Fore Vacuum Pump 275 Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction 276 Connection of the Electrical Connector 284 ...
Pagina 13: Istruzioni Per L'uso
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF Arresto del TV 401/301/21 NSF 23 Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento...
Pagina 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità...
Pagina 15: Informazioni Generali
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità...
Pagina 16 All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Pagina 17: Immagazzinamento
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C umidità...
Pagina 18: Preparazione Per L'installazione
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TV 401/301/21 NSF viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 401/301/21 NSF e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Pagina 19: Installazione
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema. Non alimentare la Turbopompa se non è fissata adeguatamente al sistema da vuoto. Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti...
Pagina 20 All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Installazione Il TV 401/301/21 NSF può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 401/301/21 NSF in posizione stabile collegando la flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.
Pagina 21: Uso
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
Pagina 22: Accensione Ed Uso Del Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF Per accendere il TV 401/301/21 NSF è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Pagina 23: Arresto Del Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Arresto del TV 401/301/21 NSF Per arrestare il TV 401/301/21 NSF è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Pagina 24: Manutenzione
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 401/301/21 NSF non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Pagina 25: Smaltimento
All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità...
Pagina 26 All manuals and user guides at all-guides.com Istruzioni per l’uso Smaltimento 26/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 27: Gebrauchsanleitung
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 29 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 401/301/21 NSF 36 Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF 37 Not-Aus Wartung Entsorgung...
Pagina 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B.
Pagina 29: Allgemeine Informationen
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei...
Pagina 30: In Dieser Gebrauchsanleitung Werden Sicherheitshinweise Folgendermaßen Hervorgehoben
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Pagina 31: Lagerung
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von -20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend)
Pagina 32: Vor Der Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TV 401/301/21 NSF wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 401/301/21 NSF ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Pagina 33: Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Schutzkappe erst bei Anschluss der Turbopumpe an das System entfernen. VORSICHT! Die Turbopumpe nicht speisen, wenn sie nicht ordnungsgemäß an das Vakuumsystem angeschlossen ist. Abbildung 2 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Pagina 34 All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 401/301/21 NSF kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Die TV 401/301/21 NSF in einer stabilen Position befestigen, wobei der Flansch der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen werden soll. Die Verbindung von Pumpenflansch und Gegenflansch soll einen Widerstand bis zu einem Drehmoment von 2000 Nm um die eigene Achse aufweisen.
Pagina 35: Gebrauch
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit...
Pagina 36: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 401/301/21 NSF Zur Einschaltung von Modell TV 401/301/21 NSF ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Pagina 37: Stoppen Von Modell Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF Zum Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Pagina 38: Wartung
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 401/301/21 NSF erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Pagina 39: Entsorgung
All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Pagina 40 All manuals and user guides at all-guides.com Gebrauchsanleitung Entsorgung 40/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 41: Mode D'emploi
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Preparation pour l’installation 46 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Arrêt du TV 401/301/21 NSF Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut...
Pagina 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Pagina 43: Indications Générales
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Pagina 44 All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte.
Pagina 45: Stockage
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Pagina 46: Preparation Pour L'installation
éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. Figure 1 Le TV 301 ne peut s'endommager en restant simplement exposé à l'atmosphère. NOTE Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
Pagina 47: Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Installation Installation Ne retirer le bouchon de protection qu'au moment du branchement de la ATTENTION! turbopompe au système. Ne pas alimenter la turbopompe tant qu'elle n'est pas correctement fixée au système à vide. Figure 2 Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à...
Pagina 48 All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Installation Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 401/301/21 NSF doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le TV 401/301/21 NSF peut être installée dans n'importe quelle position.
Pagina 49: Utilization
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Utilization Utilization Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120 °C.
Pagina 50: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Utilization Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Pour allumer le TV 401/301/21 NSF il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Pagina 51: Arrêt Du Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Utilization Arrêt du TV 401/301/21 NSF Pour arrêter le TV 401/301/21 NSF, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Pagina 52: Entretien
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 401/301/21 NSF n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à...
Pagina 53: Mise Au Rebut
All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté...
Pagina 54 All manuals and user guides at all-guides.com Mode d’emploi Mise au rebut 54/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 55: Manual De Istrucciones
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Indications générales 57 Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF 64 Parada del TV 401/301/21 NSF 65 Parada de Emergencia 65 Mantenimiento...
Pagina 56: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Pagina 57: Información General
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato.
Pagina 58 All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al equipo. ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
Pagina 59: Almacenamiento
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Pagina 60: Preparación Para La Instalación
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TV 401/301/21 NSF se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Pagina 61: Instalación
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Instalación Instalación Retirar el tapón de protección sólo en el momento de conectar la bomba de ¡ATENCIÓN! turbina al sistema. No alimentar la bomba de turbina si ésta no se encuentra adecuadamente fijada al sistema de vacío.
Pagina 62 All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Instalación El TV 401/301/21 NSF puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 401/301/21 NSF en una posición estable conectando la brida de fijación de la bomba de turbina a una contrabrida fija con capacidad de resistir a un par de 2000 Nm en torno al propio eje.
Pagina 63: Uso
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C.
Pagina 64: Encendido Y Uso Del Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF Para encender el TV 401/301/21 NSF basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.
Pagina 65: Parada Del Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF Parada del TV 401/301/21 NSF Para parar el TV 401/301/21 NSF nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba.
Pagina 66: Mantenimiento
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 401/301/21 NSF no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Pagina 67: Eliminación
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que,...
Pagina 68 All manuals and user guides at all-guides.com Manual de istrucciones Eliminación 68/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 69: Manual De Istruções
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais Armazenagem Preparación para la instalación 74 Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TV 401/301/21 NSF 78 Paragem do TV 401/301/21 NSF 79 Paragem de Emergência Manutenção...
Pagina 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à...
Pagina 71: Informações Gerais
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destinase a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais...
Pagina 72 All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais.
Pagina 73: Armazenagem
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C humidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante)
Pagina 74: Preparação Para A Instalação
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 401/301/21 NSF é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Pagina 75: Instalação
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Instalação Instalação Retirar a tampa de proteção somente no momento de ligar a turbobomba ao CUIDADO! sistema. Não ativar a Turbobomba se não está fixada corretamente no sistema de vácuo. Figura 2 Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em...
Pagina 76 All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Instalação O TV 401/301/21 NSF pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 401/301/21 NSF em posição estável ligando o flange de retenção da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 2000 Nm ao redor do seu eixo.
Pagina 77: Utilização
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 120 °C.
Pagina 78: Acendimento E Utilização Do Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 401/301/21 NSF Para ligar o TV 401/301/21 NSF é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O primeiro accionamento da bomba fazse em “Soft Star”...
Pagina 79: Paragem Do Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 401/301/21 NSF Para parar o TV 401/301/21 NSF é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Pagina 80: Manutenção
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 401/301/21 NSF não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligálo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Pagina 81: Eliminação
All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Manutenção Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está...
Pagina 82 All manuals and user guides at all-guides.com Manual de Istruções Manutenção 82/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 83: Bedrijfshandleiding
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301/21 NSF Afzetten van de TV 401/301/21 NSF 93 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 95...
Pagina 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Pagina 85: Algemene Informatie
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen.
Pagina 86 All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
Pagina 87: Opslag
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van -20 °C tot 70 °C relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend)
Pagina 88: Uitpakken
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TV 401/301/21 NSF wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 401/301/21 NSF niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Pagina 89: Installatie
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Verwijder de beschermdop pas op het moment dat de turbopomp op het VOORZICHTIG! systeem wordt aangesloten. De Turbopomp niet voeden als hij niet correct op het vacuümsysteem is aangesloten. Figuur 2 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot...
Pagina 90 All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Installatie De TV 401/301/21 NSF moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De TV 401/301/21 NSF kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TV 401/301/21 NSF in een stabiele positie door de bevestigingsflens van de turbopomp aan een vaste steunflens te bevestigen die bestand is tegen een koppel van 2000 Nm rond de eigen as.
Pagina 91: Gebruik
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden.
Pagina 92: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301/21 Om de TV 401/301/21 NSF in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock-en startsignalen en start de pomp.
Pagina 93: Afzetten Van De Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TV 401/301/21 NSF Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring).
Pagina 94: Onderhoud
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 401/301/21 NSF is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Pagina 95: Afvalverwerking
All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Pagina 96 All manuals and user guides at all-guides.com Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 96/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 97: Istruktionsbog
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301/21 NSF Stop af TV 401/301/21 NSF 107 Nødstop Vedligeholdelse 108 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/294...
Pagina 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt.
Pagina 99: Generel Information
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Pagina 100 All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader.
Pagina 101: Opbevaring
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C relativ fugtighed: fra 0 til 95 % (ikke kondenserende).
Pagina 102: Forberedelser Før Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TV 401/301/21 NSF leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 401/301/21 NSF ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Pagina 103: Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Installation Installation Beskyttelsesproppen må først fjernes, når turbopumpen sluttes til systemet. FORSIGTIG! Turbopumpen må aldrig aktiveres, hvis den ikke er fastspændt korrekt til vakuumsystemet. Figur 2 Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Pagina 104 All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Installation TV 401/301/21 NSF kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 401/301/21 NSF i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...
Pagina 105: Anvendelse
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C. ADVARSEL! Pumpen må...
Pagina 106: Start Og Anvendelse Af Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301/21 NSF For at starte TV 401/301/21 NSF er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START metoden.
Pagina 107: Stop Af Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Anvendelse Stop af TV 401/301/21 NSF For at afbryde TV 401/301/21 NSF er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Pagina 108: Vedligeholdelse
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 401/301/21 NSF behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Pagina 109: Bortskaffelse
All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Pagina 110 All manuals and user guides at all-guides.com Istruktionsbog Bortskaffelse 110/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 111: Bruksanvisning
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Att stänga av TV 401/301/21 NSF Nödstopp Underhåll Bortskaffning...
Pagina 112: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Pagina 113: Allmän Information
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pagina 114: I Bruksanvisningen Används Följande Standardrubriker
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna.
Pagina 115: Förvaring
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
Pagina 116: Förberedelser För Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation TV 401/301/21 NSF levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 401/301/21 NSF inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Pagina 117: Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Installation Installation Ta bort skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. Sätt OBSERVER! aldrig igång turbopumpen om den inte är ordentligt fäst vid vakuumsystemet. Figur 2 Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Pagina 118 All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Installation TV 401/301/21 NSF kan installeras i valfri position. Fäst TV 401/301/21 NSF i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 2000 Nm kring sin axel.
Pagina 119: Användning
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Pagina 120 All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 401/301/21 NSF För att starta TV 401/301/21 NSF behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt.
Pagina 121: Att Stänga Av Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 401/301/21 NSF Om du vill stänga av TV 401/301/21 NSF behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Pagina 122: Underhåll
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 401/301/21 NSF är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...
Pagina 123: Bortskaffning
All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på...
Pagina 124 All manuals and user guides at all-guides.com Bruksanvisning Bortskaffning 124/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 125: Instruksjon Manual
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 133 Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Stoppe TV 401/301/21 NSF 135 Nødstopp Vedlikehold Eliminering...
Pagina 126: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor.
Pagina 127: Generell Informasjon
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...
Pagina 128 All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.
Pagina 129: Lagring
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Pagina 130: Klargjøre Til Installasjon
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TV 401/301/21 NSF leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 401/301/21 NSF pakkes ut, må...
Pagina 131: Installasjon
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Fjern beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet. FORSIKTIG! Turbopumpen må aldri aktiveres hvis den ikke er festet korrekt til vakuumsystemet. Figur 2 Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare.
Pagina 132 All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Installasjon Følgende tabell angir det nødvendige antall skruer og det relevante strammemomentet. Tab. 1 Festing til kammeret Ant. Stramme-moment Skruer med M6 gjenger og klasse >= 12,9 10 Nm ADVARSEL! Vakuumkammeret, som inneholder pumpen, skal ha en sikkerhetsmessig egnet tykkelse.
Pagina 133: Bruk
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Pagina 134 All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START.
Pagina 135: Stoppe Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Bruk Stoppe TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Pagina 136: Vedlikehold
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 401/301/21 NSF er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Pagina 137: Eliminering
All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må...
Pagina 138 All manuals and user guides at all-guides.com Instruksjon Manual Eliminering 138/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 139: Ohjekäsikirja
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 147 TV 401/301/21 NSFin käynnistys ja käyttö TV 401/301/21 NSFin pysäyttäminen 149 Hätäpysäytys 149 Huolto 150 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/294...
Pagina 140: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
Pagina 141: Yleisiä Tietoja
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä...
Pagina 142 All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. VAROITUS! Varoitus- merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin, joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja.
Pagina 143: Varastointi
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C – 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 –...
Pagina 144: Valmistelut Asennusta Varten
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TV 401/301/21 NSF toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 401/301/21 NSFin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pagina 145: Asennus
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Asennus Asennus Poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään järjestelmään. Älkää HUOMIO! kytkekö turbopumppuun sähköä, ellei sitä ole kiinnitetty asianmukaisesti tyhjiöjärjestelmään. Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Pagina 146 All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Asennus TV 401/301/21 NSF voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Kiinnittäkää TV 401/301/21 NSF vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 2000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Seuraavassa taulukossa ovat kiinnikkeiden vaadittava määrä ja kiristysmomentti.
Pagina 147: Käyttö
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
Pagina 148: Tv 401/301/21 Nsfin Käynnistys Ja Käyttö
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Käyttö TV 401/301/21 NSFin käynnistys ja käyttö TV 401/301/21 NSFin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” - menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson jälkeen.
Pagina 149: Tv 401/301/21 Nsfin Pysäyttäminen
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Käyttö TV 401/301/21 NSFin pysäyttäminen TV 401/301/21 NSFin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä...
Pagina 150: Huolto
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 401/301/21 NSF ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä...
Pagina 151: Hävittäminen
All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen.
Pagina 152 All manuals and user guides at all-guides.com Ohjekäsikirja Hävittäminen 152/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 153: Felhasználói Kézikönyv
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános informáicó 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés Használat A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása és használata 162 A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása 163 Vészleállítás 163 Karbantartás Megsemmisítés 165...
Pagina 154: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése –...
Pagina 155: Általános Informáicó
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Pagina 156 All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet.
Pagina 157: Tárolás
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C relatív páratartalom: 0 –...
Pagina 158: Előkészítés Telepítésre
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TV 401/301/21 NSF-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Pagina 159: Telepítés
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el a védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Ne táplálja a turbószivattyút, amíg az megfelelően nincs csatlakoztatva a vákuumrendszerhez. Ábra 2 Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó...
Pagina 160 All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Telepítés A TV 401/301/21 NSF bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 401/301/21 NSF-et stabil helyzetben, a turbószivattyú rögzítő karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 2000 Nm tengely körüli nyomatéknak. A következő...
Pagina 161: Használat
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne...
Pagina 162: A Tv 401/301/21 Nsf Bekapcsolása És Használata
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása és használata A TV 401/301/21 NSF bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első...
Pagina 163: A Tv 401/301/21 Nsf Bekapcsolása
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása A TV 401/301/21 NSF kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető...
Pagina 164: Karbantartás
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 401/301/21 NSF nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Pagina 165: Megsemmisítés
All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Pagina 166 All manuals and user guides at all-guides.com Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 166/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 167: Podrecznik Instrukcji
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogolne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF 176 Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF 177 Zatrzymanie Awaryjne 177 Konserwacja Przetworstwo odpadow...
Pagina 168: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Pagina 169: Ogólne Informacje
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych...
Pagina 170 All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować...
Pagina 171: Magazynowanie
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od -20 °C do 70 °C względna wilgoć...
Pagina 172: Przygotowanie Do Instalacji
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TV 401/301/21 NSF jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
Pagina 173: Instalacja
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia pompy do systemu. UWAGA! Nie zasilać turbopompy jeżeli nie jest odpowiednio zamocowana do systemu próżniowego. Posta 2 Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Pagina 174 All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Instalacja TV 401/301/21 NSF musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “ Technical Information”) TV 401/301/21 NSF może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TV 401/301/21 NSF w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz mocujący turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 2000 Nm wokół...
Pagina 175: Użytkowanie
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
Pagina 176: Włączenie I Użytkowanie Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF Aby włączyć TV 401/301/21 NSF wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się...
Pagina 177: Zatrzymanie Systemu Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF Aby wyłączyć TV 401/301/21 wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się...
Pagina 178: Konserwacja
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja TV 401/301/21 NSF nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Pagina 179: Przetworstwo Odpadow
All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Pagina 180 All manuals and user guides at all-guides.com Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 180/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 181: Návod K Použití
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 189 Zapnutí a použití vývěvy TV 401/301/21 NSF 190 Vypnutí vývěvy TV 401/301/21 NSF 191 Nouzové...
Pagina 182: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě...
Pagina 183: Všeobecné Informace
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které...
Pagina 184 All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které...
Pagina 185: Uskladnění
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní...
Pagina 186: Příprava K Instalaci
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TV 401/301/21 NSF se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování...
Pagina 187: Instalace
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Nezapínejte turbovývěvu, dokud nebude náležitě připojena k podtlakovému systému. Postava 2 Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí...
Pagina 188 All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Instalace Vývěvu TV 401/301/21 NSF lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 401/301/21 NSF upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 2000 Nm kolem své...
Pagina 189: Použití
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 120 °C. NEBEZPEČÍ! Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní...
Pagina 190: Zapnutí A Použití Vývěvy Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Použití Zapnutí a použití vývěvy TV 401/301/21 NSF Pro uvedení vývěvy TV 401/301/21 NSF do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První...
Pagina 191: Vypnutí Vývěvy Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 401/301/21 NSF Pro vypnutí vývěvy TV 401/301/21 NSF je nutné vypnout síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený...
Pagina 192: Údržba
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 401/301/21 NSF nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až...
Pagina 193: Likvidace
All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Pagina 194 All manuals and user guides at all-guides.com Návod k Použití Likvidace 194/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 195: Návod Na Obsluhu
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 197 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 200 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301/21 NSF 204 Vypnutie zariadenia TV 401/301/21 NSF 205 Núdzové...
Pagina 196: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr.
Pagina 197: Všeobecné Informácie
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť...
Pagina 198 All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú...
Pagina 199: Uchovávanie
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia poč as prevozu, prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až...
Pagina 200: Príprava Na Inštaláciu
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 401/301/21 NSF sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Pagina 201: Inštalácia
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Ochranný kryt odstráňte tesne pred pripojením turbovývevy k system. POZOR! Turbovývevy nespúšťajte, kým nie je pripojená na vákuový systém. Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké...
Pagina 202 All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie TV 401/301/21 NSF môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TV 401/301/21 NSF do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 2000 Nm okolo svojej osi. Nasledujúca tabuľka uvádza počet skrutiek potrebný...
Pagina 203: Použitie
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná...
Pagina 204: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301/21 NSF Ak chcete zapnúť zariadenie TV 401/301/21 NSF, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé...
Pagina 205: Vypnutie Zariadenia Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 401/301/21 NSF Ak chcete vypnúť zariadenie TV 401/301/21 NSF, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané...
Pagina 206: Údržba
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 401/301/21 NSF nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný...
Pagina 207: Likvidácia
All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Pagina 208 All manuals and user guides at all-guides.com Návod na Obsluhu Likvidácia 208/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 209: Priročnik Za Navodila
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301/21 NSF 218 Izklop naprave TV 401/301/21 NSF 219 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov...
Pagina 210: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Pagina 211: Splošne Informacije
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Pagina 212 All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži.
Pagina 213: Shranjevanje
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko.
Pagina 214: Priprava Za Montažo
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava TV 401/301/21 NSF je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Pagina 215: Montaža
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Montaža Montaža Zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Ne POZOR! dovajajte ničesar turbočrpalki dokler ta ni primerno priključena na vakuumski sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Pagina 216 . Na primer, debeilna 5 mm je primerna za otrjeno antikorodalno posodo (σ =275 MPa). Po direktivi EN 61010-1 spada TV 301/401 NSF v skupino za drugo nameščanje POZOR! (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Pagina 217: Uporaba
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Pagina 218: Vklop In Uporaba Naprave Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301/21 NSF Za vključitev TV 401/301/21 NSF morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. Prvi zagon črpalke je v načinu »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«). Ko se začetni cikel zaključi, se način »Soft Start«...
Pagina 219: Izklop Naprave Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 401/301/21 NSF Za izklop naprave TV 401/301/21 NSF morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Pagina 220: Vzdrževanje
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 401/301/21 NSF ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Pagina 221: Odlaganje Opadkov
All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Pagina 222 All manuals and user guides at all-guides.com Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 222/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 223: Instructions For Use
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information Storage Preparation for installation 228 Installation Switching on and Use of TV 401/301/21 NSF 232 TV 401/301 Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal...
Pagina 224: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Pagina 225: General Information
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any...
Pagina 226: This Manual Uses The Following Standard Protocol
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
Pagina 227: Storage
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C relative humidity range: 0 to 95 % (non condensing)
Pagina 228: Preparation For Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 401/301/21 NSF is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Pagina 229: Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Installation Installation Do not remove the protective cap before connecting the turbopump to the CAUTION! system. Do not supply the Turbopump until it is adequately connected to the vacuum system. Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in...
Pagina 230 All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Installation The TV 401/301/21 NSF can be installed in any position. Fix the TV 401/301/21 NSF in a stable position connecting the turbopump fixing flange to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 2000 Nm around its axis.
Pagina 231: Use
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Pagina 232: Switching On And Use Of Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Switching on and Use of TV 401/301/21 NSF To switch on the TV 401/301/21 NSF it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start”...
Pagina 233: Tv 401/301 Switching Off
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use TV 401/301/21 NSF Switching off To switch off the TV 401/301/21 NSF it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Pagina 234: Maintenance
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 401/301/21 NSF does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Pagina 235: Disposal
All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste...
Pagina 236 All manuals and user guides at all-guides.com Instructions for Use Disposal 236/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 237: Technical Information
All manuals and user guides at all-guides.com TV 401/301/21 NSF User Manual Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF 239 Pump Description Controller Description Technical Specification TV 401/301/21 NSF Outline 244 Interconnections Input Power Connector 248 P3 - Spare P5 –...
Pagina 238 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Material Needed Insertion Procedure Extraction Procedure Connection of the Electrical Connector 284 Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 238/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 239: Description Of The Tv 401/301/21 Nsf
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF Description of the TV 401/301/21 NSF The TV 401/301/21 NSF pumping system consists of a pump with a dedicated controller. The TV 401/301/21 NSF pump model is 869-8928 (see the following figure).
Pagina 240: Pump Description
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine with three pumping ports and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Pagina 241: Controller Description
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF PUMP CONNECTOR CABLE CONTROLLER Figure 4 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
Pagina 242: Technical Specification
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Pumping speed (Intrinsic) Main port: Side port: Third port: 310 l/s 400 l/s 18 l/s 300 l/s 380 l/s 18 l/s 210 l/s 300 l/s 18 l/s Total compression ratio versus Main port:...
Pagina 243 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Technical Specification Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a...
Pagina 244: Tv 401/301/21 Nsf Outline
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline TV 401/301/21 NSF Outline The following figure shows the TV 401/301/21 NSF outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 TV 401/301/21 NSF outline, with standard controller mounted The following figure shows the 869-8979M005 controller outline (dimensions are in inches [mm]).
Pagina 245 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline Figure 6 TV 401/301 NSF controller outline Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Main port) TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 245/294...
Pagina 246 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Side port) Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Main Port) 246/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 247 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Side Port) Figure 11 Graph of nitrogen gas load, mid. port TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 247/294...
Pagina 248: Interconnections
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 401/301/21 NSF interconnections. Figure 12 Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Figure 13 248/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 249: P3 - Spare
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections P3 - Spare Figure 14 This is a dedicated 24 Vdc spare connector; note that it can be also controlled by means of the serial connection. P5 – External Fan Figure 15 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan.
Pagina 250 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections J5 – In-Out Figure 16 This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 401/301/21 NSF. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
Pagina 251: Signal Description
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections Signal Description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug &...
Pagina 252 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections If a continuous signal is applied (pin 5 fixed at +24 V and pin 6 fixed to ground) the pump speed is set to "Low Speed". The Low Speed frequency is settable by window "117" (see para. "RS 232/RS 485 Communication Description").
Pagina 253 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections Figure 18 It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency threshold: 980 Hz hysteresis: 2 % activation type: low level delay time: 0 second...
Pagina 254 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections Figure 19 254/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 255: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Ccontroller
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections How to Connect the Open-Collector Inputs of the cController Here below there are examples of typical connections of the input of TV 401/301/21 NSF to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Pagina 256 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections Figure 21 Case 2 with relay utilisation 256/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 257 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections Figure 22 Case 2 with transistor utilization TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 257/294...
Pagina 258: How To Connect The Outputs Of The Controller
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller.
Pagina 259: J6 - Serial
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Interconnections J6 – Serial Figure 25 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 401/301/21. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT) TX (RS232)
Pagina 260: Rs 232/Rs 485 Communication Description
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field.
Pagina 261 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR>...
Pagina 262: The Controller Can Answers With The Following Response Types
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>...
Pagina 263 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 263/294...
Pagina 264 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 264/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 265 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE...
Pagina 266: Technical Information
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Window-Meanings Tab. 7 Read/Write Datatype Description Admitted Values Start/Stop (in remote mode Start = 1 the window is a read only) Stop = 0 Low Speed Activation NO = 0 YES = 1 (default = 0)
Pagina 267 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write ‘1’...
Pagina 268 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump...
Pagina 269 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values CRC EPROM (QE) QE8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Parameter structure "XXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 1)
Pagina 270: Water Cooling Kit Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient.
Pagina 271 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure. Figure 29 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm.
Pagina 272 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Pagina 273: Purge Valve Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump(see “Accessories and Spare Parts” table). To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure.
Pagina 274: Serial Cable Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 401/301/21 NSF or the optional vent valve has to be controlled by means of a remote computer.
Pagina 275: Tv 401/301/21 Nsf Controller Installation
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information TV 401/301/21 NSF Controller Installation TV 401/301/21 NSF Controller Installation The 969-8979M005 controller can not be mounted on bottom of the pump, like the standard controller, because it is not supplied with the plastic pads for snap mounting.
Pagina 276: Turbo-V 401/301/21 Insertion And Extraction
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Material Needed Turbo V401/301/21 pump, PN 869-8928 (in the following: the pump, supplied), with O-rings already mounted in the factory. Quantity 6 screws, M6 × 20.8 mm, black, with spherical tip, resistance class 10.9 or greater (in the following: sphere-screws, supplied).
Pagina 277 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Figure 35 Turbo V 401/301/21 flange insertion/extraction flange. Insertion smooth holes (6, RED CIRCLES @ 60 °), extraction M6 threaded holes (3, BLUE RHOMBS @ 120°). TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 277/294...
Pagina 278: Insertion Procedure
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Insertion Procedure Insert the pump into the chamber carefully and without tilting it. Align the 6 insertion smooth holes of the pump flange with the 6 threaded holes in the chamber flange (Fig.
Pagina 279 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Figure 37 Screw engagement Use the torque wrench, set @ 10 Nm. WARNING! Do not screw in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel.
Pagina 280 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn Figure 38 Get the pump flange in contact with the chamber flange and close the sphere-screws @ 10 Nm. 280/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 281: Extraction Procedure
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Extraction Procedure Use a torque wrench, locked at a torque value > 10 Nm. Unscrew the 6 sphere-screws starting anywhere, proceeding clockwise. WARNING! Do not unscrew in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel.
Pagina 282 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Screw in the 3 M6 screws clockwise, starting anywhere, half turn/lap (Fig. 40). ½ turn ½ turn ½ turn Figure 40 When the pump is free, pull it out of the chamber carefully (Fig. 41).
Pagina 283 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Figure 41 Remove the 3 M6 screws form the pump flange. TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 283/294...
Pagina 284: Connection Of The Electrical Connector
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Connection of the Electrical Connector Connection of the Electrical Connector Figure 42 The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ...
Pagina 285: Pump Used With Corrosive Gases
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e.
Pagina 286 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Figure 43 Purge layout Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump TV 401/301/21 NSF pump 286/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 287: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Pagina 288 All manuals and user guides at all-guides.com Technical Information Accessories and Spare Parts 288/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Pagina 289 All manuals and user guides at all-guides.com...
Pagina 290 All manuals and user guides at all-guides.com...
Pagina 291 All manuals and user guides at all-guides.com...
Pagina 292 All manuals and user guides at all-guides.com...
Pagina 293 All manuals and user guides at all-guides.com...
Pagina 294 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Deze handleiding is ook geschikt voor:

Tv 401 Tv 21 nsf

Agilent Technologies TV 301 Bedrijfshandleiding

Quick Links

Hoofdstukken

Gerelateerde Handleidingen voor Agilent Technologies TV 301

Samenvatting van Inhoud voor Agilent Technologies TV 301