Inhoudsopgave
Advertenties
NEIN!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei
Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexib-
len Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe
immer am Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 70 dürfen
ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen betrieben
werden (Baureihen 969-9405, 969-9505, 969-9507 oder 969-
9508) und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden
(siehe Schema "Technical Information").
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem
Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Gegen-
flansch anschließen, der um die eigene Achse einem Drehmo-
ment von 200 Nm um seine eigene Achse aushält, oder den als
Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung am Sockelteil
benutzen
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppel-
ten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer ange-
schlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl
der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige An-
zugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 63
Doppelklemme
mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang "Techni-
cal Information".
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben einge-
setzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von
2
500N/mm
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm angezo-
gen werden.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang "Technical Information".
ANZAHL ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpenge-
häuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C nicht
überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen
die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
!
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
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Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein.
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Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die
Lager beschädigt werden könnten.
!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderausfüh-
rungen der Pumpe Turbo-V 70 benutzt werden. Diese Pumpen
haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom von 0,4 bis 1
mbar ltr/sec fließen muß.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 70 sind wartungsfrei. Eventu-
elle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften vorgenom-
men werden.
!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am
Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-860-01(E)
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